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用于太陽能電池膜面開窗工藝的裝置

閱讀：520發(fā)布：2024-02-27

專利匯可以提供用于太陽能電池膜面開窗工藝的裝置專利檢索，專利查詢，專利分析的服務(wù)。并且本實用新型涉及一種用于 太陽能 電池 膜面開窗工藝的裝置，屬于太陽能光伏電池制造技術(shù)領(lǐng)域。主要特點(diǎn)是具有進(jìn)氣管路和出氣管路的腔體；腔體設(shè)置有開窗區(qū)域和 真空 區(qū)域，真空區(qū)域內(nèi)置入真空管路，真空管路將 硅 片 吸住，從進(jìn)氣管路通進(jìn)反應(yīng)氣體。本實用新型主要通過采用能 腐蝕 SiO2(或SiNx/Al2O3/a-Si等所有能起到 鈍化 和減反效果的 薄膜 )的氣體( 氫氟酸 氣體或添加有添加劑的氫氟酸氣體的混合物等等所有能腐蝕這種薄膜的氣體)來腐蝕膜面達(dá)到開窗的目的，高效的氣體腐蝕速率，不僅產(chǎn)能高、工藝相對穩(wěn)定適合量產(chǎn)，而且有效的克服了激光初次投入成本高和腐蝕漿料后期運(yùn)營成本高的缺點(diǎn)。，下面是用于太陽能電池膜面開窗工藝的裝置專利的具體信息內(nèi)容。

1.一種用于太陽能電池膜面開窗工藝的裝置，其特征是，所述裝置是具有進(jìn)氣管路和出氣管路的腔體；腔體設(shè)置有開窗區(qū)域和真空區(qū)域，真空區(qū)域內(nèi)置入真空管路，真空管路將硅片吸住，從進(jìn)氣管路通進(jìn)反應(yīng)氣體。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于太陽能電池膜面開窗工藝的裝置，其特征是，所述腔體的進(jìn)氣管路和出氣管路在腔體外連通循環(huán)或不連通。

說明書全文

用于太陽能電池膜面開窗工藝的裝置

技術(shù)領(lǐng)域

[0001] 本實用新型涉及一種用于太陽能電池膜面開窗工藝的裝置，屬于太陽能光伏電池制造技術(shù)領(lǐng)域。

背景技術(shù)

[0002] 太陽能電池經(jīng)過制絨、擴(kuò)散及PECVD等工序后，已經(jīng)制成PN結(jié)，可以在光照下產(chǎn)生電流，為了將產(chǎn)生的電流導(dǎo)出，需要在電池表面上制作正、負(fù)兩個電極。以上是常規(guī)電池工藝的生產(chǎn)流程，隨著產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)技術(shù)日益成熟，實驗室的高效電池工藝也逐步運(yùn)用于產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)，當(dāng)前比較熱門的高效電池工藝有：選擇性發(fā)射極電池、背場鈍化電池、交叉指型背接觸電池(IBC電池)等，而這些電池工藝都有涉及到在鍍有SiO2(或SiNx/Al2O3/a-Si等所有能起到鈍化和減反效果的薄膜)的膜面上進(jìn)行選擇性開窗工藝，目前大家一般采用激光按照一定的圖形開窗或者用腐蝕漿料用特定圖形網(wǎng)版采用絲網(wǎng)印刷把漿料印在膜面上用腐蝕漿料腐蝕這些膜面進(jìn)而達(dá)到開窗的目的，但是激光設(shè)備價格昂貴，一次投入非常大，而腐蝕漿料雖然初始投入不高，但是漿料較貴，后期的運(yùn)營投入大。實用新型內(nèi)容
[0003] 本實用新型的目的是提供一種用于太陽能電池膜面開窗工藝的裝置，解決上述現(xiàn)有技術(shù)存在的缺陷，通過本實用新型有效的克服激光設(shè)備初次投入成本高和腐蝕漿料后期運(yùn)營成本高的缺點(diǎn)。
[0004] 本實用新型的目的是通過以下技術(shù)方案實現(xiàn)的，一種用于太陽能電池膜面開窗工藝的裝置，其特征是，所述裝置是具有進(jìn)氣管路和出氣管路的腔體；腔體設(shè)置有開窗區(qū)域和真空區(qū)域，真空區(qū)域內(nèi)置入真空管路，真空管路將硅片吸住，從進(jìn)氣管路通進(jìn)腐蝕氣體。
[0005] 所述腔體的進(jìn)氣管路和出氣管路在腔體外連通循環(huán)或不連通。
[0006] 本實用新型主要采用具有進(jìn)氣管路和出氣管路的腔體；腔體設(shè)置有開窗區(qū)域和真空區(qū)域，真空區(qū)域內(nèi)置入真空管路，真空管路將硅片吸住，使用時通入能腐蝕SiO2(或SiNx/Al2O3/a-Si等所有能起到鈍化和減反效果的薄膜)的氣體(氫氟酸氣體或添加有添加劑的氫氟酸氣體的混合物等等所有能腐蝕這種薄膜的氣體)來腐蝕膜面達(dá)到開窗的目的，氣體流量控制在0~5 L/m，高效的氣體腐蝕速率，不僅產(chǎn)能高、工藝相對穩(wěn)定適合量產(chǎn)，而且有效的克服了激光初次投入成本高和腐蝕漿料后期運(yùn)營成本高的缺點(diǎn)。附圖說明
[0007] 圖1為本實用新型中的設(shè)備示意圖；
[0008] 圖2為圖1中的設(shè)備腔體剖面圖；
[0009] 圖中，1腔體，2進(jìn)氣管路，3氣體流經(jīng)途徑，4出氣管路，5真空管路，6開窗位置，7硅片。

具體實施方式

[0010] 結(jié)合附圖和實施例進(jìn)一步說明本實用新型，如圖1所示，本實用新型由具有進(jìn)氣管路2和出氣管路4的腔體1構(gòu)成；腔體1設(shè)置有開窗區(qū)域6和真空區(qū)域，真空區(qū)域內(nèi)置入真空管路5，真空管路5將硅片7吸住，從進(jìn)氣管路2通進(jìn)腐蝕氣體。
[0011] 使用時將鍍有SiO2(或SiNx/Al2O3/a-Si等所有能起到鈍化和減反效果的薄膜)膜的硅片7由真空管路5吸住，腐蝕氣體從進(jìn)氣管路2通入腔體1，從出氣管路4出來，進(jìn)氣管路2和出氣管路4根據(jù)工藝要求可以連通循環(huán)使用也可以不連通。如圖1所示，腔體1內(nèi)開窗位置6與內(nèi)部氣體需連通，而真空管路5位置與腔體1內(nèi)是隔絕的，腐蝕氣體通過開窗位置6與鍍膜硅片7的膜面直接接觸從而達(dá)到與膜面反應(yīng)去除膜面的目的，真空管路4則是通過通入負(fù)壓將硅片7吸住。真空管路5開窗位置6必須嚴(yán)格密封，使腐蝕氣體不能通到真空管路5中。開窗尺寸大小根據(jù)工藝要求可做到的尺寸在10~200um，真空管路5主要起到吸住硅片7的目的，根據(jù)工藝和成本的要求可以在非開窗位置全部鋪設(shè)真空孔（或者沿開窗孔壁通入一層真空或者與開窗孔一樣做成10~200um的真空管路或從上面往下壓住硅片等，包括所有能實現(xiàn)吸住或壓住硅片的方式，以起到隔絕腐蝕氣體進(jìn)入不需要開窗的區(qū)域和吸住硅片防止硅片出現(xiàn)位移）。開窗的圖形根據(jù)工藝要求可以是直線，也可以是斷線連接而成，也可以是一個個點(diǎn)組成，不管哪種圖形線或點(diǎn)的尺寸需在10~200um的范圍內(nèi)。
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