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矽晶圓之評價方法及其蝕刻液
閱讀：619發(fā)布：2024-02-29
專利匯可以提供矽晶圓之評價方法及其蝕刻液專利檢索，專利查詢，專利分析的服務。并且於蝕刻液中之氫氟酸、 硝酸 、乙酸及 水 之容量比為(400)：(5~10)：(10~50)：(80~120)，且蝕刻液之總液量每1升含有碘或碘化物0.03g以上之蝕刻液，浸漬矽晶圓而選擇性地蝕刻結晶 缺陷 部分。藉此，於矽晶圓表面出現(xiàn)直徑10μm左右之橢圓形狀之圖案(LEP)，並且觀察到全LEP中之大部分為流體圖案。剩餘之LEP以如先前之橢圓形狀之單獨圖案型態(tài)出現(xiàn)。藉此，提供一種矽晶圓之評價方法及其蝕刻液，其可不使用含有有害物質之重鉻酸鉀之液，且於LEP觀察中具有與射哥液同等以上之能 力 ，且容易地觀察LEP。，下面是矽晶圓之評價方法及其蝕刻液專利的具體信息內容。
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