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提出了一種設置在例如數(shù)碼相機的攝影裝置中的、去除附著在照 相機的圖像傳感器及其蓋子上的塵粒的裝置。
美國公布專利申請公布號2005-0264656A公開了一種驅(qū)動裝置， 其將活動部件撞擊到固定部件上，從而通過撞擊的沖擊除去附著在圖 像傳感器及其蓋子上的塵粒。
但是，簡單的將活動部件撞擊到固定部件上會對驅(qū)動裝置產(chǎn)生較 大的震動。這樣有可能打擾到用戶以及會破壞驅(qū)動裝置。

本發(fā)明的目的是提供一種驅(qū)動裝置，具工作時在驅(qū)動裝置中伴有 較弱的震動。
提供一種具有活動部件、第一驅(qū)動部件和第二驅(qū)動部件的驅(qū)動裝 置。活動部件可以相對于固定部件擺動。第一驅(qū)動部件在第一方向驅(qū) 動活動部件。第二驅(qū)動部件在與第一方向相反的方向驅(qū)動活動部件。 固定部件具有被活動部件撞擊的緩沖器。第一和第二驅(qū)動部件同時驅(qū) 動所述活動部件，以便撞擊緩沖器。
附圖說明
參照附圖，將從下面的描述中更好地理解本發(fā)明的目的和優(yōu)點， 其中：
圖1是根據(jù)本發(fā)明的實施例的圖像捕捉裝置的立體圖；
圖2是圖像捕捉裝置的前視圖；
圖3是圖像捕捉裝置的框圖；
圖4是顯示圖像捕捉裝置的主過程的流程圖；
圖5是顯示中斷過程的流程圖；
圖6是顯示除塵過程的流程圖；
圖7是顯示除塵過程中活動部件在y方向的軌跡；
圖8示意性地顯示了從LCD顯示器側觀察時活動部件的軌跡；
圖9也示意性地顯示了從LCD顯示器側觀察時活動部件的軌跡； 以及
圖10顯示了除塵過程中活動部件在x方向的軌跡。

下面參照附圖所示的實施例描述本發(fā)明。圖1至3顯示了根據(jù)本 發(fā)明的包括驅(qū)動裝置的圖像捕捉裝置1的結構。在本實施例中，攝影 裝置1是數(shù)碼相機。諸如照相機鏡頭67等攝影光學系統(tǒng)具有光軸LX， 所述攝影光學系統(tǒng)在攝影裝置1的圖像傳感器的攝影面上捕捉光學圖 像。為了解釋本實施例中的方向，定義了x方向(第一方向)、y方向 (第二方向)和z方向(參考圖1)。x方向在水平面上并且垂直于光 軸LX。y方向垂直于光軸LX和x方向。z方向平行于光軸LX并且垂 直于x方向和y方向。
攝影裝置1包括用于開啟和關閉攝影裝置的電源的電源按鈕11、 釋放按鈕13、防抖按鈕14、LCD顯示器17、反射鏡-光圈-快門單元 18、DSP?19、CPU?21、AE(自動曝光)單元23、AF(自動聚焦)單 元24、防抖單元30、成像單元39a和照相機鏡頭67。這些組件執(zhí)行成 像功能。
通過電源按鈕11的狀態(tài)來確定電源開關11a是開啟狀態(tài)還是關閉 狀態(tài)，使得攝影裝置1的開啟狀態(tài)和關閉狀態(tài)對應于電源開關11a的 開啟狀態(tài)和關閉狀態(tài)。照相目標圖像被成像單元39a捕捉，作為通過 照相機鏡頭67的光學圖像，捕捉到的圖像顯示在LCD顯示器17上。 可以通過光學取景器(未示出)觀察照相目標圖像。
在按下電源按鈕11使攝影裝置1處于開啟狀態(tài)之后，在第一周期 中(220ms)執(zhí)行除塵操作。
當操作者部分按下釋放按鈕13時，測光開關12a切換到開啟狀態(tài)， 從而執(zhí)行測光操作、AF傳感操作和聚焦操作。當操作者完全按下釋放 按鈕13時，釋放開關13a切換到開啟狀態(tài)，從而通過成像單元39a(成 像裝置)執(zhí)行成像操作，捕捉并存儲圖像。
反射鏡-光圈-快門單元18連接到CPU?21的端口P7并根據(jù)釋放按 鈕13a的開啟狀態(tài)進行反射鏡的向上/向下操作(反射鏡向上操作和反 射鏡向下操作)、光圈的打開/關閉操作以及快門的打開/關閉操作。
DSP?19連接到成像單元39以及CPU?21的端口P9。根據(jù)來自CPU 21的指令，DSP?19對通過成像單元39a的成像操作獲得的圖像信號進 行諸如圖像處理等計算。
CPU?21是控制攝影裝置1的每個部件的成像操作、除塵操作和防 抖操作(即圖像穩(wěn)定操作)的控制裝置。防抖操作既包括活動部件30a 的移動也包括位置檢測操作。此外，CPU?21存儲防抖參數(shù)IS的值、釋 放狀態(tài)參數(shù)RP的值、除塵狀態(tài)參數(shù)GP的值以及除塵時間參數(shù)CNT 的值。
防抖參數(shù)IS指示攝影裝置1是否處于防抖模式。當防抖參數(shù)IS 等于一時，攝影裝置1處于防抖模式；當它等于零時，攝影裝置1不 處于防抖模式。
釋放狀態(tài)參數(shù)RP的值根據(jù)釋放順序操作變化。當執(zhí)行釋放順序操 作時，釋放狀態(tài)參數(shù)RP的值被設定為一(參見圖4的步驟S24至S31)； 當完成釋放順序操作時，釋放狀態(tài)參數(shù)RP的值被設定(重置)為零(參 見圖4的步驟S13和S32)。
除塵狀態(tài)參數(shù)GP指示除塵操作是否完成。由于從緊接著攝影裝置 1被設定為開啟狀態(tài)的時刻開始直到經(jīng)過第一周期(220ms)，可以認 為除塵操作是在進行中的(參見圖4的步驟S14)，因此除塵狀態(tài)參數(shù) GP的值被設定為一。
由于從攝影裝置1被設定到開啟狀態(tài)之后經(jīng)過第一周期(220ms) 的時刻開始，可以認為除塵操作完成(參見圖4的步驟S16)，因此除 塵狀態(tài)參數(shù)GP的值被設定為零。
除塵時間參數(shù)CNT用于測量除塵操作進行的時間長度。用零代替 除塵時間參數(shù)CNT的初始值。當執(zhí)行除塵操作時，每隔1ms的時間間 隔，除塵時間參數(shù)CNT的值增加一(參見圖6的步驟S701)。
在防抖操作之前的除塵操作中，CPU?21將活動部件30a移動到預 設的初始位置。該操作被命名為置心操作(參見圖7的步驟S84)。在 本實施例中，預設位置是移動范圍的中心(x方向的坐標值和y方向的 坐標值均為0)。
然后，通過CPU21將活動部件30a的質(zhì)心關于x方向保持在特定 位置上。沿y方向的YP方向驅(qū)動活動部件30a的XP側，同時沿YM 方向驅(qū)動活動部件30a的XM側。因此，活動部件30a相對于給定軸 擺動，從而移動部件30a的YP側的XP端撞擊移動范圍的上邊界34a， 活動部件30a的YM側的XM端撞擊移動范圍的下邊界34b。
然后，將活動部件30a關于x方向保持在特定位置上的同時，沿Y 方向的YM方向驅(qū)動活動部件30a的XP側，同時沿YP方向驅(qū)動XM 側。因此，活動部件30a沿與上一次擺動相反的方向擺動，從而YP側 的XM端撞擊移動范圍的上邊界34a以及YM側的XP端撞擊移動范 圍的下邊界34b。在重復這些過程之后，除塵操作結束。
通過活動部件30a對所述移動范圍的邊界沖擊的震動去除活動部 件30a的成像單元39a(圖像傳感器和低通濾波器)上的塵粒。在除塵 操作完成后，防抖操作開始。
接下來，CPU?21存儲下列值：第一數(shù)字角速度信號Vxn，第二數(shù) 字角速度信號Vyn，第一數(shù)字角速度VVxn，第二數(shù)字角速度VVyn， 第一數(shù)字位移角Bxn，第二數(shù)字位移角Byn，位置Sn在x方向的坐標 Sxn；位置Sn在y方向的坐標Syn；第一驅(qū)動力Dxn；第二驅(qū)動力Dyn； A/D轉換后的位置Pn在x方向上的坐標pdxn；A/D轉換后的位置Pn 在y方向上的坐標pdyn；第一減少值exn；第二減少值eyn；第一比例 系數(shù)Kx；第二比例系數(shù)Ky；防抖操作的采樣周期θ；第一積分系數(shù) Tix；第二積分系數(shù)Tiy；第一微分系數(shù)Tdx；以及第二微分系數(shù)Tdy。
基于當前的攝影目標，AE單元23(曝光計算單元)執(zhí)行測光操作 并計算光度值。AE單元23還根據(jù)光度值計算成像需要的光圈值和曝 光持續(xù)時間。AF單元24執(zhí)行成像還需要的AF傳感操作和相應的聚焦 操作。在聚焦操作中，沿光軸LX移動照相機鏡頭67。
攝影裝置1的防抖部件(防抖裝置)包括防抖按鈕14、防抖開關 14a、LCD顯示器17、CPU?21、角速度檢測單元25、驅(qū)動電路29、防 抖單元30、霍爾元件信號處理單元45(磁場變化檢測元件)以及照相 機鏡頭67。
當操作者按下防抖按鈕14時，防抖開關14a被設定到開啟狀態(tài)。 當防抖開關14a處于開啟狀態(tài)時，攝影裝置1處于防抖模式，防抖參 數(shù)IS被設定為一(IS＝1)。當防抖開關14a不處于開啟狀態(tài)時，攝影裝 置1處于非防抖模式，防抖參數(shù)IS被設定為零(IS＝0)。在防抖模式下， 執(zhí)行防抖操作。在防抖操作中，獨立于其他操作，例如測光操作，在 第二周期驅(qū)動角速度檢測單元25和防抖單元30。在本實施例中，預設 的時間間隔的值被設定為1ms。
CPU?21控制與來自這些開關的輸入信號對應的各種輸出指令。 CPU?21的端口P12接收指示測光開關12a處于開啟狀態(tài)還是關閉狀態(tài) 的1位數(shù)字信號。CPU?21的端口P13接收指示釋放開關13a處于開啟 狀態(tài)還是關閉狀態(tài)的1位數(shù)字信號。CPU?21的端口P14接收指示防抖 開關14a處于開啟狀態(tài)還是關閉狀態(tài)的1位數(shù)字信號。AE單元23、 AF單元24以及LCD顯示器17分別連接到CPU21用于輸入/輸出的端 口P4、P5和P6。
接下來，詳細描述角速度檢測單元25、驅(qū)動電路29、防抖單元30、 以及霍爾元件信號處理單元45。
角速度檢測單元25具有第一角速度傳感器26a、第二角速度傳感 器26b、第一高通濾波電路27a、第二高通濾波電路27b、第一放大器 28a和第二放大器28b。
第一角速度傳感器26a檢測攝影裝置1繞Y方向的軸轉動(偏轉) 的角速度，即檢測攝影裝置1的角速度在x方向的速度分量。第一角 速度傳感器26a是檢測偏轉角速度的陀螺傳感器。
第二角速度傳感器26b檢測攝影裝置1繞x方向的軸轉動(俯仰) 的角速度，即檢測攝影裝置1的角速度在y方向的速度分量。第二角 速度傳感器26b是檢測俯仰角速度的陀螺傳感器。
第一高通濾波電路27a降低第一角速度傳感器26a輸出的信號的 低頻分量，因為第一角速度傳感器26a輸出的信號的低頻分量包括基 于與照相機震動無關的零位電壓和移動鏡頭運動(panning?motion)的 信號成分(signal?element)。第二高通濾波電路27b降低第二角速度傳 感器26b輸出的信號的低頻分量，因為第二角速度傳感器26b輸出的 信號的低頻分量包括基于與照相機震動無關的零位電壓和移動鏡頭運 動的信號成分。通過第一和第二高通濾波電路27a和27b執(zhí)行的過程 是模擬高通濾波過程。
第一放大器28a放大與低頻分量已被降低的偏轉角速度相關的信 號，以及向CPU?21的端口A/D?0輸出模擬信號，作為第一角速度vx。 第二放大器28b放大與低頻分量已被降低的俯仰角速度相關的信號， 以及向CPU?21的端口A/D?1輸出模擬信號，作為第二角速度vy。
低頻信號分量的降低是二步過程；首先通過第一和第二高通濾波 電路27a和27b執(zhí)行模擬高通濾波過程的初級部分，接下來通過CPU?21 執(zhí)行數(shù)字高通濾波過程的次級部分。數(shù)字高通濾波過程的次級部分的 截止頻率高于模擬高通濾波過程的初級部分的截止頻率。在數(shù)字高通 濾波過程中，時間常數(shù)(第一高通濾波器時間常數(shù)hx和第二高通濾波 器時間常數(shù)hy)的值可以容易地改變。
在電源開關11a被設定到開啟狀態(tài)(即主電源開關設置為開啟狀 態(tài))之后，開始向CPU?21和角速度檢測單元25的所有部分供電。在 電源開關11a被設定到開啟狀態(tài)以及除塵操作完成之后，照相機震動 值的計算開始。
CPU?21將分別輸入到端口A/D?0和A/D?1的第一和第二角速度vx 和vy轉換為第一和第二數(shù)字角速度信號Vxn和Vyn。然后由于第一和 第二數(shù)字角速度信號Vxn和Vyn的低頻分量包括基于與照相機震動無 關的零位電壓和移動鏡頭運動的信號成分，所以CPU?21通過降低第一 和第二數(shù)字角速度信號Vxn和Vyn的低頻分量(數(shù)字高通濾波過程) 計算第一和第二數(shù)字角速度VVxn和VVyn。此外，CPU?21通過對第 一和第二數(shù)字角速度VVxn和VVyn積分(積分過程)來計算照相機震 動位移角(第一和第二數(shù)字位移角Bxn和Byn)。
CPU?21和角速度檢測單元25使用函數(shù)來計算照相機震動值。
“n”是大于零的整數(shù)，指示從定時中斷過程的開始(t＝0；參見圖 4的步驟S12)到最近一次防抖操作執(zhí)行的時間點(t＝n)的時間長度 (ms)。
在關于x方向的數(shù)字高通濾波過程中，用第一數(shù)字角速度VVx0 到VVxn-1的和除以第一高通濾波器時間常數(shù)hx，然后用第一數(shù)字角 速度信號Vxn減去得到的商，從而計算(在1ms的預設時間間隔之前； 即在執(zhí)行上一次防抖操作之前，通過定時中斷過程計算)第一數(shù)字角 速度VVxn(VVxn＝Vxn-(∑VVxn-1)÷hx)。在關于y方向的數(shù)字高通 濾波過程中，進行與VVxn類似的計算得到第二數(shù)字角速度VVyn (VVyn＝Vyn-(∑VVyn-1)÷hy)。
在本實施例中，定時中斷過程(的一部分)中的角速度檢測操作 包括通過角速度檢測單元25進行的處理以及將來自角速度檢測單元 25的第一和第二角速度vx和vy輸入到CPU?21的過程。
在關于x方向的積分過程中，通過對定時中斷過程開始的時間點 的第一數(shù)字角速度VVx0(t＝0；參見圖4的步驟S12)到執(zhí)行上一次防 抖操作的時間點的第一數(shù)字角速度VVxn求和，計算第一數(shù)字位移角 Bxn(t＝n；Bxn＝∑VVxn)。
類似地，在關于y方向的積分過程中，通過對定時中斷過程開始 的時間點的第二數(shù)字角速度VVy0到執(zhí)行上一次防抖操作的時間點的 第二數(shù)字角速度VVyn求和，計算第二數(shù)字位移角Byn(Byn＝∑VVyn)。
CPU?21計算成像單元39a(活動部件30a)應被移動到的位置Sn， 相當于根據(jù)位置轉換系數(shù)zz(x方向的第一位置轉換系數(shù)zx以及y方 向的第二位置轉換系數(shù)zy)計算的x方向和y方向的照相機震動值(第 一和第二數(shù)字位移角Bxn和Byn)。
位置Sn在x方向的坐標被定義為Sxn，在y方向的坐標被定義為 Syn。用電磁力執(zhí)行包括成像單元39a的活動部件30a的移動，稍后會 進行說明。
驅(qū)動力Dn驅(qū)動驅(qū)動電路29，以便將活動部件30a移動到位置Sn。 驅(qū)動力在Dn在x方向的坐標被定義為第一驅(qū)動力Dxn(在D/A轉換 之后：第一PWM負載(duty)dx)。驅(qū)動力Dn在y方向的坐標被定 義為第二驅(qū)動力Dyn(在D/A轉換之后：第二PWM負載dy)。根據(jù)第 一驅(qū)動力Dxn的值驅(qū)動第一驅(qū)動線圈31a。根據(jù)第二驅(qū)動力Dyn驅(qū)動 第二驅(qū)動線圈32a和第三驅(qū)動線圈33a，即通過相同的力驅(qū)動它們。
第一PWM負載dx是與第一驅(qū)動力Dxn對應的驅(qū)動脈沖的負載比 率(duty?ratio)，第二PWM負載dyl和第三PWM負載dyr是與第二驅(qū) 動力Dyn對應的驅(qū)動脈沖的負載比率。在除塵操作中，第二PWM負 載dyl與第三PWM負載dyr相同。
用+DD或-DD表示第二驅(qū)動力Dyn。+DD表示沿正y方向(YP 方向)即朝向固定部件30b的上端驅(qū)動活動部件30a。-DD表示沿負y 方向(YM方向)即朝向固定部件30b的下端驅(qū)動活動部件30a。
但是，成像單元39a(活動部件30a)為在執(zhí)行防抖操作之前的除 塵操作在第一周期(220ms)應被移動到的位置Sn被設定為值“a”， 不與照相機震動值對應(參見圖6的步驟S704)。
例如，在除塵操作的軌跡“a”中，位置Sn被設定在固定部件30b 的中心。因此，活動部件30a被設定在固定部件30b的中心。在除塵 操作的軌跡“b”到“d”中，位置Sn的x方向分量被設定成特定值， 但是在y方向，只設定PWM負載，而不設定位置Sn的y方向分量。 因此，通過恒力使活動部件30a朝向固定部件30b的頂部和底部移動， 并且撞擊它。
在沿x方向的定位操作中，位置Sn在x方向的坐標被定義為Sxn， 是最新的第一數(shù)字位移角Bxn與第一位置轉換系數(shù)zx的乘積(Sxn＝zx ×Bxn)。
在沿y方向的定位操作中，位置Sn在y方向的坐標被定義為Syn， 是最新的第二數(shù)字位移角Byn與第二位置轉換系數(shù)zy的乘積(Syn＝zy ×Byn)。
防抖單元30通過將成像單元39a反復移動到位置Sn校正照相機 震動。這樣當執(zhí)行防抖操作時(IS＝1)，在曝光時間中穩(wěn)定顯示在圖像 傳感器的成像表面上的照相目標圖像。
防抖單元30具有固定部件30b，該固定部件30b形成了活動部件 30a的移動范圍的邊界，活動部件30a包括成像單元39a，并且能夠在 xy面內(nèi)移動。移動范圍大于活動部件30a在防抖操作中在其中移動的 震動校正區(qū)域。
當不執(zhí)行防抖操作時(IS＝0)，在曝光時間中，活動部件30a保持 在預設位置。預設位置是移動范圍的中心。
在第一周期(220ms)中，在攝影裝置1被設定為開啟狀態(tài)之后， 將活動部件30a驅(qū)動到預設位置(即移動范圍的中心)。接下來，向移 動范圍在y方向上的邊界驅(qū)動活動部件30a。
在其他情況下(除第一周期和曝光時間之外)，不驅(qū)動活動部件 30a。
防抖單元30不具備在不被驅(qū)動時(即驅(qū)動關閉狀態(tài))保持在固定 位置上的固定位置機構。
在具有從CPU?21的PWM0輸入的第一PWM負載dx和從CPU?21 的PWM1輸入的第二PWM負載dy的驅(qū)動電路29的作用下，通過用 于驅(qū)動的線圈和磁性單元的電磁力，執(zhí)行防抖單元30的活動部件30a 的驅(qū)動，該驅(qū)動包括向預設的固定位置的移動。
通過線圈和磁性單元產(chǎn)生的電磁力驅(qū)動防抖單元30的活動部件 30a。當驅(qū)動電路29給線圈單元加電時，產(chǎn)生電磁力。當接收到CPU?21 的PWM0輸出的第一PWM負載dx時，驅(qū)動電路29給第一驅(qū)動線圈 31a加電，當接收到PWM1輸出的第二PWM負載dyl時，給第二驅(qū)動 線圈32a加電，以及當接收到PMW2輸出的第三PWM負載dyr時， 給第三驅(qū)動線圈33a加電。
無論是在驅(qū)動電路29實現(xiàn)的移動之前還是之后，都通過霍爾元件 44a和霍爾元件信號處理單元45檢測活動部件30a的位置Pn。
關于測得的位置Pn在x方向的第一坐標的信息，也就是第一測得 位置信號px，被輸入到CPU?21的A/D轉換器A/D2(參見圖6的(2))。 第一測得位置信號px是模擬信號，該模擬信號通過A/D轉換器A/D?2 轉換成數(shù)字信號(A/D轉換)。通過A/D轉換，模擬px成為數(shù)字pdxn。
類似地，關于y方向，將pyl輸入到CPU?21的A/D轉換器A/D?3， 將pyr輸入到CPU?21的A/D轉換器A/D?4。通過A/D轉換，模擬pyl 成為數(shù)字pdyln，以及模擬pyr成為數(shù)字pdyrn。
PID(比例積分微分)控制進程基于在移動之后測得的位置Pn (pdxn，pdyln，pdyrn)以及位置Sn(Sxn，Syln，Syrn)的坐標數(shù)據(jù) 計算第一、第二和第三驅(qū)動力Dxn，Dyln，Dyrn。
第一驅(qū)動力Dxn的計算基于第一減少值exn、第一比例系數(shù)Kx、 采樣周期θ、第一積分系數(shù)Tix以及第一微分系數(shù)Tdx(Dxn＝Kx× {exn+θ÷Tix×∑exn+Tdx÷θ×(exn-exn-1)})。通過用位置Sn在x 方向的坐標Sxn減去A/D轉換后的測得的位置Pn在x方向的第一坐標 pdxn，計算第一減少值exn(exn＝Sxn-pdxn)。
第二驅(qū)動力Dyn的計算基于第二減少值eyn、第二比例系數(shù)Ky、 采樣周期θ、第二積分系數(shù)Tiy以及第二微分系數(shù)Tdy(Dyn＝Ky× {eyn+θ÷Tiy×∑eyn+Tdy÷θ×(eyn-eyn-1)})。通過用位置Sn在y 方向的坐標Syn減去A/D轉換后的測得的位置Pn在y方向的第二坐標 pdyn，計算第二減少值eyn(eyn＝Syn-pdyn)。
采樣周期θ的值被設定為1ms的預設時間間隔(第二周期)。
當通過將防抖開關14a設定到開啟狀態(tài)將攝影裝置1設定到防抖 模式時(IS＝1)，通過PID控制進程的防抖操作將活動部件30a驅(qū)動到 位置Sn(Sxn，Syn)。通過防抖操作中包含的PID控制進程確定位置 Sn。
當防抖參數(shù)IS為零時，執(zhí)行不包含在防抖操作中的PID控制進程， 從而將活動部件30a移動到移動范圍的中心(預設位置)。
在除塵操作中，從將攝影裝置1設定到開啟狀態(tài)的時間點直到防 抖操作開始，首先將活動部件30a移動到移動范圍的中心。之后，根 據(jù)上文所述的過程驅(qū)動活動部件30a。
活動部件30a具有用于驅(qū)動的線圈單元，該線圈單元包括第一驅(qū) 動線圈31a、第二驅(qū)動線圈32a、第三驅(qū)動線圈33a、具有圖像傳感器 的成像單元39a以及作為磁場變化檢測元件的霍爾元件44a。在第一實 施例中，圖像傳感器為CCD；但是，圖像傳感器也可以是其他圖像傳 感器，諸如CMOS等。
圖像傳感器的成像表面的矩形形狀具有兩條平行于x方向的邊和 兩條平行于y方向的邊，y方向的邊比x方向的邊短。因此，活動部件 30a在x方向的移動范圍比y方向的大。
固定部件30b具有用于驅(qū)動的磁性單元，該磁性單元包括第一位 置檢測及驅(qū)動磁體411b、第二位置檢測及驅(qū)動磁體412b、第三位置檢 測及驅(qū)動磁體413b、第一位置檢測及驅(qū)動磁軛431b、第二位置檢測及 驅(qū)動磁軛(yoke)432b以及第三位置檢測及驅(qū)動磁軛433b。
固定部件30b在x方向和y方向可移動地支撐活動部件30a。
固定部件30b具有吸收與移動部件30a的接觸點處(移動范圍的 邊界處)的沖擊的緩沖構件。
選擇緩沖構件的硬度使得沖擊的震動不會破壞進行接觸的部件， 例如活動部件30a，但是通過與緩沖構件沖擊的震動能夠去除活動部件 30a上的任何灰塵。
在第一實施例中，緩沖構件連接在固定部件30b上；但是，緩沖 構件也可以連接到活動部件30a上。
當活動部件30a在x方向和y方向都位于移動范圍的中心時，圖 像傳感器的中心與照相機鏡頭67的光軸LX相交，可以使用圖像傳感 器的全部成像范圍。
作為圖像傳感器的成像表面的形狀的矩形具有兩條對角線。在第 一實施例中，圖像傳感器的中心處于這兩條對角線的交點。
第一驅(qū)動線圈31a、第二驅(qū)動線圈32a、第三驅(qū)動線圈33a以及霍 爾元件44a連接到活動部件30a上。
第一驅(qū)動線圈31a形成為片狀和螺旋狀，并具有y方向的磁力線， 從而產(chǎn)生了第一電磁力，用于沿x方向移動包括第一驅(qū)動線圈31a的 活動部件30a。
基于第一驅(qū)動線圈31a的電流方向和第一位置檢測及驅(qū)動磁體 411b的磁場方向，產(chǎn)生第一電磁力。
第二和第三驅(qū)動線圈32a、33a形成為片狀和螺旋狀，并具有x方 向的磁力線，從而產(chǎn)生了第二電磁力，用于沿y方向移動包括第二和 第三驅(qū)動線圈32a、33a的活動部件30a。
基于第二和第三驅(qū)動線圈32a、33a的電流方向和第二和第三位置 檢測及驅(qū)動磁體412b，413b的磁場方向，產(chǎn)生第二電磁力。
第一、第二和第三驅(qū)動線圈31a、32a和33a連接到驅(qū)動電路29， 該驅(qū)動電路29通過柔性電路板(未示出)驅(qū)動第一、第二和第三驅(qū)動 線圈31a、32a和33a。將第一PWM負載dx從CPU?21的PWM0輸入 到驅(qū)動電路29。類似地，將第二和第三PWM負載dyl、dyr從CPU?21 的PWM1和PWM2輸入到驅(qū)動電路29。驅(qū)動電路29為與第一PWM 負載dx的值對應的第一驅(qū)動線圈31a、與第二PWM負載dyl的值對應 的第二驅(qū)動線圈32a以及與第三PWM負載dyr的值對應的第三驅(qū)動線 圈33a供電，以便驅(qū)動活動部件30a。
第一、第二和第三位置檢測及驅(qū)動磁軛431b、432b和433b由柔 性磁性材料制成，并且設置在固定部件30b上。
第一位置檢測及驅(qū)動磁軛431b防止第一位置檢測及驅(qū)動磁體411b 的磁場耗散到周圍環(huán)境中，并且增大第一位置檢測及驅(qū)動磁體411b與 第一驅(qū)動線圈31a之間以及第一位置檢測及驅(qū)動磁體411b與水平霍爾 元件hh之間的磁感應強度。
類似地，第二和第三位置檢測及驅(qū)動磁軛432b、433b防止第二和 第三位置檢測及驅(qū)動磁體412b、413b的磁場耗散到周圍環(huán)境中，并且 增大第二位置檢測及驅(qū)動磁體412b和第二驅(qū)動線圈32a之間、第二位 置檢測及驅(qū)動磁體412b和第一縱向霍爾元件hvl之間、第三位置檢測 及驅(qū)動磁體413b和第三驅(qū)動線圈33a之間以及第三位置檢測及驅(qū)動磁 體413b和第二縱向霍爾元件hvr之間的磁感應強度。
第一位置檢測及驅(qū)動磁體411b連接到固定部件30b的活動部件 側，在z方向上第一位置檢測及驅(qū)動磁體411b面向第一驅(qū)動線圈31a 和水平霍爾元件hh。詳言之，第一位置檢測及驅(qū)動磁體411b連接到第 一位置檢測及驅(qū)動磁軛431b。第一位置檢測及驅(qū)動磁軛431b連接到固 定部件30b在z方向上的活動部件30a側。第一位置檢測及驅(qū)動磁體 411b的N極和S極設置在x方向。
類似地，第二和第三位置檢測及驅(qū)動磁體412b、413b連接到固定 部件30b的活動部件側，在z方向上第二和第三位置檢測及驅(qū)動磁體 412b、413b分別面向第二和第三驅(qū)動線圈32a、33a以及第一和第二縱 向霍爾元件hvl、hvr。詳言之，第二和第三位置檢測及驅(qū)動磁體412b、 413b連接到第二和第三位置檢測及驅(qū)動磁軛432b、433b。第二和第三 位置檢測及驅(qū)動磁軛432b、433b分別連接到固定部件30b在z方向上 的活動部件30a側。第二和第三位置檢測及驅(qū)動磁體412b、413b的N 極和S極設置在y方向。
霍爾元件44a包括水平霍爾元件hh、第一縱向霍爾元件hvl以及 第二縱向霍爾元件hvr，所述水平霍爾元件hh檢測活動部件30a的位 置Pn在x方向的坐標，所述第一縱向霍爾元件hvl檢測活動部件30a 的XM側在y方向的坐標，所述第二縱向霍爾元件hvr檢測活動部件 30a的XP側在y方向的坐標。每個霍爾元件都是包含利用霍爾效應的 磁電轉換元件(磁場變換檢測元件)的單軸單元。水平霍爾元件hh輸 出第一測得位置信號px，該第一測得位置信號px表示活動部件30a的 當前位置Pn。類似地，第一和第二縱向霍爾元件hvl、hvr分別輸出第 二和第三測得位置信號pyl、pyr。
水平霍爾元件hh連接到活動部件30a，在z方向上水平霍爾元件 hh面向第一位置檢測及驅(qū)動磁體411b。類似地，第一和第二縱向霍爾 元件hvl、hvr連接到活動部件30a，在z方向面向第二和第三位置檢測 及驅(qū)動磁體412b、413b。
當圖像傳感器的中心與光軸LX相交時，希望水平霍爾元件hh位 于霍爾元件44a上，沿z方向觀察時，在x方向面向第一位置檢測及 驅(qū)動磁體411b的N極和S極之間的中間區(qū)域。在該位置處，水平霍爾 元件hh的利用范圍最大，在所述利用范圍中可以根據(jù)單軸霍爾元件的 線性輸出變化(線性度)執(zhí)行精確的位置檢測操作。
霍爾元件信號處理單元45具有第一霍爾元件信號處理電路450、 第二霍爾元件信號處理電路460以及第三霍爾元件信號處理電路470。
第一霍爾元件信號處理電路450檢測水平霍爾元件hh的輸出端之 間的水平電位差x10，所述水平電位差x10基于水平霍爾元件hh的輸 出信號?；谒诫娢徊顇10，第一霍爾元件信號處理電路450將第一 測得位置信號px輸出到CPU?21的A/D轉換器A/D?2，所述第一測得 位置信號px確定活動部件30a的位置Pn在x方向的第一坐標。
類似地，第二和霍爾元件信號處理電路460、470檢測第一和第二 縱向霍爾元件hvl、hvr的輸出端之間的左側和右側縱向電位差yl10、 yr10，所述左側和右側縱向電位差yl10、yr10基于縱向霍爾元件hvl、 hvr的輸出信號。之后，第二和第三霍爾元件信號處理電路460、470 將第二和第三測得位置信號pyl、pyr輸出到CPU?21的A/D轉換器A/D 3、A/D?4。
接下來，使用圖4的流程圖說明第一實施例中的攝影裝置1的主 過程。
當將攝影裝置1設定到開啟狀態(tài)時，對角速度檢測單元25供電， 從而在步驟S11中將角速度檢測單元25設定到開啟狀態(tài)。
在步驟S12中，在預設時間間隔(1ms)，定時中斷過程開始。在 步驟S13中，將釋放狀態(tài)參數(shù)RP的值設定為零。稍后將使用圖5的流 程圖詳細說明定時中斷過程。
在步驟S14中，將除塵狀態(tài)參數(shù)GP的值設定為一；將除塵時間參 數(shù)CNT的值設定為零；以及將路線(channel)參數(shù)設定為a。
在步驟S15中，確定除塵時間參數(shù)CNT的值是否大于220ms。通 過步驟S15進行等待，直到定時中斷過程結束。除塵時間參數(shù)CNT是 完成定時中斷過程所需的時間。在本實施例中，考慮到定時中斷過程 的完成時間和防抖單元30中的個體差異，采用220ms。
在步驟S15中，確定除塵時間參數(shù)CNT的值是否大于220ms。當 確定除塵時間參數(shù)CNT的值大于220ms時，過程繼續(xù)到步驟S16；否 則，重復步驟S15中的過程。
在步驟S16中，將除塵狀態(tài)參數(shù)GP的值設定為0。
在步驟S17中，確定測光開關12a是否設定到開啟狀態(tài)。當確定 測光開關12a設定到開啟狀態(tài)時，過程繼續(xù)到步驟S18；否則，重復步 驟S17中的過程。
在步驟S18中，確定防抖開關14a是否設定到開啟狀態(tài)。當確定 防抖開關14a沒有設定到開啟狀態(tài)時，在步驟19中將防抖參數(shù)IS的值 設定為零；否則，在步驟S20中將防抖參數(shù)IS的值設定為一。
在步驟S21中，驅(qū)動AE單元23的AE傳感器，執(zhí)行測光操作， 并且計算光圈值和曝光時間。
在步驟S22中，驅(qū)動AF單元24的AF傳感器和鏡頭控制電路， 以分別執(zhí)行AF傳感和聚焦操作。
在步驟S23中，確定釋放開關13a是否設定到開啟狀態(tài)。當釋放 開關13a沒有設定到開啟狀態(tài)時，過程返回步驟S17并且重復步驟S17 至S22中的過程；否則，過程繼續(xù)到步驟S24，釋放順序操作開始。
在步驟S24中，將釋放狀態(tài)參數(shù)RP的值設定為一。在步驟S25 中，通過反射鏡-光圈-快門單元18執(zhí)行與光圈值對應的反射鏡向上操 作和光圈關閉操作，其中所述光圈值是預設的或者計算得到的。
在反射鏡向上操作完成后，在步驟S26中開始快門的打開操作(快 門的前遮光簾的移動)。
在步驟S27中，執(zhí)行曝光操作，或換言之，圖像傳感器(CCD等) 的電荷積累。在經(jīng)過曝光時間后，在步驟S28中通過反射鏡-光圈-快門 單元18執(zhí)行快門的關閉操作(快門的后遮光簾的移動)、反射鏡向下 操作以及光圈的打開操作。
在步驟S29中，讀取在曝光時間中在圖像傳感器中積累的電荷。 在步驟S30，CPU?21與DSP?19通信，從而基于從圖像傳感器讀取的電 荷執(zhí)行成像過程。進行圖像處理的圖像存儲在攝影裝置1的存儲器中。 在步驟S31中，將存儲器中存儲的圖像顯示在LCD顯示器17上。在 步驟S32中，將釋放狀態(tài)參數(shù)RP的值設定為零，釋放順序操作完成。 之后，過程則返回到步驟S17。換言之，將攝影裝置1設定為可以執(zhí)行 下一成像操作的狀態(tài)。
接下來，參照圖5中的流程圖描述定時中斷過程，所述定時中斷 過程開始于圖4中的步驟S12，并且在每1ms的時間間隔處執(zhí)行。
當定時中斷過程開始時，在步驟S50中確定除塵狀態(tài)參數(shù)GP的值 是否被設定為一。當確定除塵狀態(tài)參數(shù)GP的值被設定為一時，過程繼 續(xù)到步驟S51；否則，過程直接進入步驟S52.
在步驟S51中，執(zhí)行除塵過程。稍后將使用圖6的流程圖詳細說 明除塵過程。
在步驟S52中，從角速度檢測單元25輸出的第一角速度vx被輸 入到CPU?21的A/D轉換器A/D?0，并且被轉換為第一數(shù)字角速度信號 Vxn。同樣從角速度檢測單元25輸出的第二角速度vy被輸入到CPU?21 的A/D轉換器A/D?1，并且被轉換為第二數(shù)字角速度信號Vyn(角速度 檢測過程)。
在數(shù)字高通濾波過程中降低第一和第二數(shù)字角速度信號Vxn和 Vyn的低頻(第一和第二數(shù)字角速度VVxn和VVyn)。
在步驟S53中，確定釋放狀態(tài)參數(shù)RP的值是否被設定為一。當確 定釋放狀態(tài)參數(shù)RP的值沒有被設定為一時，活動部件30a的驅(qū)動控制 被設定到關閉狀態(tài)。換言之，防抖單元30被設定到不在步驟S54中執(zhí) 行活動部件30a的驅(qū)動控制的狀態(tài)；否則，過程直接進入步驟S55。
在步驟S55中，第一、第二和第三測得位置信號px、pyr和pyl 通過A/D轉換器A/D?2、A/D?3和A/D?4被輸入到CPU?21中，也被轉 換為數(shù)字信號。CPU?21通過輸入信號確定活動部件30a的當前位置Pn (pdxn，pdyln，pdyrn)。
在步驟S56中，確定防抖參數(shù)IS的值是否為零。當確定防抖參數(shù) IS的值為零時，(換言之，當攝影裝置不處于防抖模式時)，在步驟S57 中將活動部件30a(成像單元39a)應被移動到的位置Sn(Sxn，Syn) 設定為活動部件30a的移動范圍的中心。當確定防抖參數(shù)IS的值不為 零時(IS＝1)，(換言之，當攝影裝置處于防抖模式時)，在步驟S58中 基于第一和第二角速度vx和vy計算活動部件30a(成像單元39a)應 被移動到的位置Sn(Sxn，Syn)。
在步驟S59中，基于步驟S57或步驟S58中確定的位置Sn(Sxn， Syn)和當前位置Pn(pdxn，pdyln，pdyrn)計算將活動部件30a移動 到位置Sn的驅(qū)動力Dn的第一驅(qū)動力Dxn(第一PWM負載dx)、第 二驅(qū)動力Dyln(第二PWM負載dyl)以及第三驅(qū)動力Dyrn(第三PWM 負載dyr)。在除塵操作中，第二驅(qū)動力Dyln(第二PWM負載dyl)和 第三驅(qū)動力Dyrn(第三PWM負載dyr)符號相反，絕對值相同。
在步驟S60中，通過對驅(qū)動電路29應用第一PWM負載dx，驅(qū)動 第一驅(qū)動線圈單元31a，以及通過對驅(qū)動電路29應用第二和第三PWM 負載dyl、dyr，驅(qū)動第二和第三驅(qū)動線圈單元32a、33a，從而將活動 部件30a移動到位置Sn(Sxn，Syn)。
步驟S59和S60的過程是自動控制計算，該自動控制計算與用于 進行一般的比例、積分和微分計算的PID自動控制共同使用。
接下來，使用圖6至9中的流程圖說明開始于圖5中的步驟S51 的除塵過程。
當除塵過程開始時，在步驟S701中，除塵時間參數(shù)CNT的值加 一。
在步驟S702中，霍爾元件44a檢測活動部件30a的位置，并且通 過霍爾元件信號處理單元45計算第一、第二和第三測得位置信號px、 pyl和pyr。然后第一測得位置信號px被輸入到CPU?21的A/D轉換器 A/D2，并被轉換為數(shù)字信號pdxn，而第二和第三測得位置信號pyl、 pyr被輸入到CPU?21的A/D轉換器A/D?3和A/D?4，也被轉換為數(shù)字 信號，CPU21據(jù)此通過輸入信號確定活動部件30a的當前位置Pn (pdxn，pdyln，pdyrn)。
在步驟S703中，確定除塵時間參數(shù)CNT的值是否小于或等于 65ms。在除塵時間參數(shù)CNT的值小于或等于65ms的情況下，開始步 驟S704至S706。在除塵時間參數(shù)CNT的值不小于或等于65ms的情 況下，過程進入步驟S710。
步驟S704至S706處理軌跡“a”，該軌跡“a”將活動部件30a驅(qū) 動到固定部件30b的中心。圖9(a)圖解了執(zhí)行軌跡“a”之后活動部 件30a的位置。
在步驟S704中，將活動部件30a(成像單元39a)應被移動到的 位置Sn(Sxn，Syn)設定為活動部件30a的移動范圍的中心。
在步驟S705中，根據(jù)當前位置Pn(pdxn，pdyn)，使用步驟S704 中確定的位置Sn(Sxn，Syn)計算移動活動部件30a的驅(qū)動力Dn。該 計算與定時中斷過程中的步驟S59中的計算相同。
在步驟S706中，通過執(zhí)行與定時中斷過程中的步驟S60中的過程 相同的過程，移動活動部件30a。然后，除塵過程結束，過程返回到定 時中斷過程(子進程返回)。
每毫秒(第二周期)都執(zhí)行一次定時中斷過程。因此，也反復執(zhí) 行除塵過程，直到在主過程的步驟S16中除塵狀態(tài)參數(shù)GP被設定為零 為止。
當除塵過程再次開始，在步驟S701中，除塵時間參數(shù)CNT的值 加一，變成二。然后，執(zhí)行步驟S702和S703。在步驟S703中，確定 除塵時間參數(shù)CNT的值是否小于或等于65ms。在這一點，除塵時間 參數(shù)CNT的值是二。因此，過程進入步驟S704，然后在執(zhí)行步驟S704 至S706后結束(子進程返回)。之后，在定時中斷過程中再次執(zhí)行除 塵過程。
重復執(zhí)行步驟S701至S706，直到除塵時間參數(shù)CNT變得大于 65ms。在步驟S703中，在除塵時間參數(shù)CNT超過65ms的情況下， 過程進入步驟S710。應注意，活動部件30a被置于固定部件30b的中 心。
將活動部件30a從當前位置移動到固定部件30b的中心所需的最 大時間間隔是65ms。換言之，通過將活動部件30a從固定部件30b的 角落移動到中心所需的平均時間間隔與由于防抖單元30的個體差異引 起的誤差時間間隔相加計算所得的時間間隔是65ms。因此，將除塵時 間參數(shù)CNT的閾值設定為65ms。在除塵時間參數(shù)CNT小于或等于 65ms的情況下，有可能活動部件30a還沒處于固定部件30b的中心。 在除塵時間參數(shù)CNT大于65ms的情況下，活動部件30a處于固定部 件30b的中心。
在步驟S710中，確定除塵時間參數(shù)CNT是否小于或等于115ms。 在除塵時間參數(shù)CNT小于或等于115ms的情況下，開始執(zhí)行步驟S711 至S715。在除塵時間參數(shù)CNT不小于或等于115ms的情況下，過程 進入步驟S720。
描述步驟S711至S715的過程。步驟S711至S715處理軌跡“b”， 該軌跡“b”將活動部件30a的YP側的XP端撞擊到固定部件30b的 上邊界34a，以及將活動部件30a的YM側的XM端撞擊到固定部件 30b的下邊界34b。圖9(b)圖解了處理軌跡“b”之后的活動部件30a。
在步驟S711中，將第二PWM負載dyl的值設定為-DD。在步驟 S712中，將第三PWM負載dyr的值設定為DD。設定值DD，即絕對 值|+DD|和|-DD|，使得當活動部件30a撞擊到其移動范圍的邊界 時，活動部件30a的加速度增加到可以通過沖擊的震動去除活動部件 30a上的灰塵的程度。
在步驟S713中，活動部件30a在x方向應被移動到的位置Sn在x 方向的坐標Sxn被設定為活動部件30a的移動范圍的在x方向的中心。
在步驟S714中，基于在步驟S713中確定的位置Sn在x方向的坐 標Sxn，以及當前位置Pn在x方向的坐標pdxn，計算第一驅(qū)動力Dxn (第一PWM負載dx)。需要第一驅(qū)動力Dxn，即在x方向移動活動部 件30a的驅(qū)動力Dn，以通過向第一驅(qū)動線圈單元31a提供電流移動活 動部件30a。
在步驟S715中，通過將第一、第二和第三PWM負載dx、dyl和 dyr應用到驅(qū)動電路29，分別驅(qū)動第一、第二和第三驅(qū)動線圈單元31a、 32a和33a，從而移動活動部件30a。活動部件30a被移向沿x方向的 移動范圍的中心，并被固定在沿x方向的移動范圍的中心(參見圖10)。 此外，朝向固定部件30b的頂部，即，沿正y方向移動活動部件30a 的XP側。朝向固定部件30b的底部，即，沿負y方向移動活動部件 30a的XM側。因此，活動部件30a相對于與成像表面垂直并通過活動 部件30a的質(zhì)心的軸逆時針轉動。之后，過程結束(子進程返回)，在 定時中斷過程中再次執(zhí)行除塵過程。
當除塵過程再次開始時，在步驟S701中，除塵時間參數(shù)CNT的 值加一，變成67。然后，執(zhí)行步驟S702、S703以及S710至S715。因 此，執(zhí)行步驟S701至S703以及S710至S715，直到除塵時間參數(shù)CNT 的值大于115ms。在步驟S710中，在除塵時間參數(shù)CNT的值大于115ms 的情況下，過程進入步驟S720。
通過重復步驟S701至S715，活動部件30a被固定，以便在活動部 件30a的XM側撞擊固定部件30b的底面之后接觸固定部件30b的底 面，以及以便在活動部件30a的XP側撞擊固定部件30b的頂面之后接 觸固定部件30b的頂面(參見圖9(b))。
在下文中說明將除塵時間參數(shù)CNT的閾值設定為115ms的原因。 從活動部件30a開始從固定部件30b的中心移動的時刻到反彈停止的 時刻的最大時間間隔為50ms。具體而言，通過將從活動部件30a開始 在固定部件30b的中心處移動的時刻到其到達固定部件30b的頂部或 底部的時刻的平均時間間隔、防抖單元30的個體差異的誤差時間間隔 以及碰撞產(chǎn)生的反彈趨于停止的時間間隔相加，計算得到的最大時間 間隔是50ms。通過將最大時間間隔50ms與從除塵過程開始的時刻到 軌跡“b”開始的時刻的時間間隔相加，計算得到閾值115ms。在除塵 時間參數(shù)CNT小于或等于115ms的情況下，有可能活動部件30a還沒 到達固定部件30b的頂部或底部。在除塵時間參數(shù)CNT大于115ms的 情況下，活動部件30a應處在固定部件30b的頂部或底部。
在接下來的步驟S720中，確定除塵時間參數(shù)CNT是否小于或等 于165ms。在除塵時間參數(shù)CNT小于或等于165ms的情況下，開始執(zhí) 行步驟S721至722、以及S713至S715。在除塵時間參數(shù)CNT不小于 或等于165ms的情況下，過程進入步驟S730。
接下來，描述步驟S721、S722、以及S713至S715的過程。這些 步驟處理軌跡“c”，該軌跡“c”將活動部件30a的YP側的XM端撞 擊到固定部件30b的上邊界34a，以及將活動部件30a的YM側的XP 端撞擊到固定部件30b的下邊界34b。圖9(c)圖解了處理軌跡“c” 之后的活動部件30a。
在步驟S721中，將第二PWM負載dyl的值設定為+DD。在步驟 S722中，將第三PWM負載dyr的值設定為-DD。
在步驟S713至S715中開始執(zhí)行與上述過程類似的過程，從而活 動部件30a返回到沿x方向的移動范圍中心(參見圖10)。此外，向固 定部件30b的底部，即沿負y方向移動活動部件30a的XP側，向固定 部件30b的頂部，即沿正y方向移動活動部件30a的XM側。因此， 活動部件30a相對于與成像表面垂直并通過活動部件30a的質(zhì)心的軸 順時針轉動。之后，過程結束(子進程返回)，在定時中斷過程中再次 執(zhí)行除塵過程。
當除塵過程再次開始時，在步驟S701中，除塵時間參數(shù)CNT的 值加一，變成117ms。然后，執(zhí)行步驟S702、S703、S710、S720、S721、 S722以及S713至S715。因此，反復執(zhí)行這些步驟，直到除塵時間參 數(shù)CNT的值大于165ms。在步驟S720中，在除塵時間參數(shù)CNT的值 大于165ms的情況下，過程進入步驟S730。
通過執(zhí)行這些步驟，活動部件30a被固定，以便在活動部件30a 的XM側撞擊固定部件30b的頂面之后接觸固定部件30b的頂面，以 及以便在活動部件30a的XP側撞擊固定部件30b的底面之后接觸固定 部件30b的底面(參見圖9(c))。
由于上文已作說明，省略將除塵時間參數(shù)CNT設定為165ms的原 因。在除塵時間參數(shù)CNT小于或等于165ms的情況下，有可能活動部 件30a還沒到達固定部件30b的頂部或底部。在除塵時間參數(shù)CNT大 于165ms的情況下，固定活動部件30a，以便接觸固定部件30b的頂部 或底部。
在接下來的步驟S730中，確定除塵時間參數(shù)CNT是否小于或等 于215ms。在除塵時間參數(shù)CNT小于或等于215ms的情況下，開始執(zhí) 行步驟S731至S732以及S713至S715。在除塵時間參數(shù)CNT不小于 或等于215ms的情況下，過程進入步驟S740。
由于步驟S731和S732與步驟S711和S721類似，步驟S713至 S715在上文已作說明，因此省略關于步驟S731至S732以及步驟S713 和S715的說明。步驟S731、S732以及S713至S715處理軌跡“d”， 該軌跡“d”將活動部件30a的YP側的XP端撞擊到固定部件30b的 上邊界34a，以及將活動部件30a的YM側的XM端撞擊到固定部件 30b的下邊界34b。
通過執(zhí)行這些步驟，活動部件30a被固定，以便在活動部件30a 的XM側撞擊固定部件30b的底面之后接觸固定部件30b的底面，以 及以便在活動部件30a的XP側撞擊固定部件30b的頂面之后接觸固定 部件30b的頂面(參見圖9(d))。
由于上文已作說明，省略將除塵時間參數(shù)CNT設定為215ms的原 因。在除塵時間參數(shù)CNT小于或等于215ms的情況下，有可能活動部 件30a還沒到達固定部件30b的頂部或底部。在除塵時間參數(shù)CNT大 于215ms的情況下，活動部件30a被固定，以便接觸固定部件30b的 頂部或底部。
在接下來的步驟S740中，活動部件30a處于驅(qū)動關閉狀態(tài)。因此， 驅(qū)動力不施加到活動部件30a上，從而活動部件30a通過重力靜止在 固定部件30b的底部(參見圖9(e))。
根據(jù)本實施例，沿正y方向移動活動部件30a的一端，而沿負y 方向移動另一端。這使動量抵消，從而降低了驅(qū)動設備中的震動。
應注意，活動部件30a與固定部件30b的沖擊不限于三次，而可 以是任意大于或等于一的次數(shù)。在這種情況下，根據(jù)沖擊的次數(shù)，執(zhí) 行步驟S710至S715，或步驟S720至S722以及S713至S715。
在除塵操作中，活動部件30a可以保持在y方向的中心并且在x 方向移動。活動部件30a在x方向的移動范圍大于y方向的移動范圍。
此外，當除塵操作開始時活動部件30a移動到的位置不限于活動 部件30a的移動范圍的中心。它可以是活動部件30a不與活動部件30a 的移動范圍的邊界發(fā)生接觸的任意位置。
此外，解釋了霍爾元件作為磁場變化檢測元件用于位置檢測。但 是，為了位置檢測的目的，也可以使用其他檢測元件，例如高頻載波 型磁場傳感器的MI(磁阻抗)傳感器；磁共振型磁場檢測元件；或者 MR(磁阻效應)元件。當使用MI傳感器、磁共振型磁場檢測元件或 者MR元件之一時，與使用霍爾元件時類似，可以通過檢測磁場變化 獲得關于活動部件30a的位置的信息。
雖然在此已經(jīng)參照附圖描述了本發(fā)明的實施例，但是顯而易見， 本領域技術人員可以在不脫離本發(fā)明的范圍的情況下進行許多修改和 變化。