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一種檢漏儀器的多通道快速校準(zhǔn)裝置及方法

閱讀:273發(fā)布:2023-02-08

專利匯可以提供一種檢漏儀器的多通道快速校準(zhǔn)裝置及方法專利檢索,專利查詢,專利分析的服務(wù)。并且本 發(fā)明 公開了一種檢漏儀器的多通道快速校準(zhǔn)裝置。使用本發(fā)明能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)多臺(tái)檢漏儀器的同時(shí)校準(zhǔn),且校準(zhǔn)范圍較寬,校準(zhǔn)速度快、 精度 高,并能滿足對(duì)多種示漏氣體的校準(zhǔn)。本發(fā)明包括供氣系統(tǒng)、針 閥 、 截止閥 、壓 力 計(jì)、穩(wěn)壓室、抽氣系統(tǒng)、N個(gè)小孔、比較室和M個(gè)待校準(zhǔn)檢漏儀器,穩(wěn)壓室內(nèi)的氣體通過不同的截止閥與對(duì)應(yīng)的小孔的入口連接,小孔的出口通過各自對(duì)應(yīng)的截止閥與比較室連接,M個(gè)待校準(zhǔn)的檢漏儀器通過各自對(duì)應(yīng)的截止閥與比較室連接;通過改變截止閥的狀態(tài),獲得檢漏儀器在多個(gè)標(biāo)準(zhǔn)流量下的檢測(cè)值,進(jìn)而獲得精度更高的校準(zhǔn)系數(shù),且能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)多臺(tái)撿漏儀器的同時(shí)校準(zhǔn),校準(zhǔn)效率高。,下面是一種檢漏儀器的多通道快速校準(zhǔn)裝置及方法專利的具體信息內(nèi)容。

1.一種檢漏儀器的多通道快速校準(zhǔn)方法,其特征在于,采用設(shè)計(jì)的校準(zhǔn)裝置進(jìn)行校準(zhǔn),所述校準(zhǔn)裝置包括供氣系統(tǒng)(1)、針(2)、截止閥、壓計(jì)、穩(wěn)壓室(5)、抽氣系統(tǒng)(7)、N個(gè)小孔、比較室(18)和M個(gè)待校準(zhǔn)檢漏儀器,其中N為大于或等于2的自然數(shù)、M為大于或等于1的自然數(shù);
其中,供氣系統(tǒng)(1)用于提供校準(zhǔn)所用示漏氣體,供氣系統(tǒng)(1)依次通過針閥(2)、截止閥(3)與穩(wěn)壓室(5)連接;抽氣系統(tǒng)(7)通過抽氣系統(tǒng)截止閥(6)與穩(wěn)壓室(5)連接;N個(gè)小孔的入口分別通過各自對(duì)應(yīng)的入口截止閥與穩(wěn)壓室(5)連接,N個(gè)小孔的出口分別通過各自對(duì)應(yīng)的出口截止閥與比較室(18)連接;M個(gè)待校準(zhǔn)的檢漏儀器分別通過各自對(duì)應(yīng)的入口截止閥與比較室(18)連接;所述穩(wěn)壓室(5)和比較室(18)分別設(shè)有壓力計(jì);
校準(zhǔn)步驟如下:
步驟1,打開抽氣系統(tǒng)截止閥(6),啟動(dòng)抽氣系統(tǒng)(7),打開供氣系統(tǒng)與小孔氣體通道之間的針閥(2)和截止閥(3),抽除小孔、穩(wěn)壓室(5)、以及小孔、穩(wěn)壓室(5)、供氣系統(tǒng)(1)之間的管道中的氣體;
步驟2,打開待校準(zhǔn)檢漏儀器的入口截止閥,待校準(zhǔn)檢漏儀器預(yù)熱后,打開各小孔的出口截止閥,利用待校準(zhǔn)檢漏儀器內(nèi)部的抽氣系統(tǒng)抽除比較室(18)以及小孔、比較室(18)、待校準(zhǔn)檢漏儀器之間的管道中的氣體;
步驟3,關(guān)閉抽氣系統(tǒng)截止閥、小孔出口截止閥、待校準(zhǔn)檢漏儀器入口截止閥,打開供氣系統(tǒng)(1),向穩(wěn)壓室(5)中提供滿足壓力要求的氣體;
步驟4,關(guān)閉針閥(2)、供氣系統(tǒng)截止閥,待穩(wěn)壓室(5)內(nèi)氣體壓力穩(wěn)定后,記錄穩(wěn)壓室(5)的壓力p0,計(jì)算獲得p0下各小孔對(duì)應(yīng)的流量為Qs1、Qs2、Qs3,…,QsN;
步驟5,打開小孔A對(duì)應(yīng)的入口截止閥、出口截止閥及待校準(zhǔn)檢漏儀器A對(duì)應(yīng)的入口截止閥,由待校準(zhǔn)檢漏儀器A測(cè)量獲得待校準(zhǔn)檢漏儀器A在小孔A標(biāo)準(zhǔn)流量下的漏率值為QL11;關(guān)閉待校準(zhǔn)檢漏儀器A對(duì)應(yīng)的入口截止閥、打開待校準(zhǔn)檢漏儀器B對(duì)應(yīng)的入口截止閥,由待校準(zhǔn)檢漏儀器B測(cè)量獲得待校準(zhǔn)檢漏儀器B在小孔A標(biāo)準(zhǔn)流量下的漏率值為QL21;依次類推,得到M個(gè)待校準(zhǔn)檢漏儀器在小孔A標(biāo)準(zhǔn)流量下的漏率值QL11,QL21,QL31,…,QLM1;
步驟6,關(guān)閉所有截止閥,打開小孔B對(duì)應(yīng)的入口截止閥、出口截止閥及待校準(zhǔn)檢漏儀器A對(duì)應(yīng)的入口截止閥,由待校準(zhǔn)檢漏儀器A測(cè)量獲得待校準(zhǔn)檢漏儀器A在小孔B標(biāo)準(zhǔn)流量下的漏率值為QL12;關(guān)閉待校準(zhǔn)檢漏儀器A對(duì)應(yīng)的入口截止閥、打開待校準(zhǔn)檢漏儀器B對(duì)應(yīng)的入口截止閥,由待校準(zhǔn)檢漏儀器B測(cè)量獲得待校準(zhǔn)檢漏儀器B在小孔B標(biāo)準(zhǔn)流量下的漏率值為QL22;依次類推,得到M個(gè)待校準(zhǔn)檢漏儀器在小孔B標(biāo)準(zhǔn)流量下的漏率值QL12,QL22,QL32,……,QLM2;
步驟7,依次類推,獲得M個(gè)待校準(zhǔn)檢漏儀器在小孔N標(biāo)準(zhǔn)流量下的漏率值QL1N,QL2N,QL3N,……,QLMN;
步驟8,計(jì)算各待校準(zhǔn)檢漏儀器的校準(zhǔn)系數(shù):
各待校準(zhǔn)檢漏儀器在其量程范圍內(nèi)的校準(zhǔn)系數(shù)為:
其中,下標(biāo)n表示第n個(gè)小孔,下標(biāo)m表示第m個(gè)待校準(zhǔn)檢漏儀器,n=1,2,…,N,m=1,
2,…,M;至此,完成對(duì)多個(gè)待校準(zhǔn)檢漏儀器的同時(shí)、快速校準(zhǔn)。

說明書全文

一種檢漏儀器的多通道快速校準(zhǔn)裝置及方法

技術(shù)領(lǐng)域

[0001] 本發(fā)明涉及氣體漏率檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種檢漏儀器的多通道快速校準(zhǔn)裝置及方法。

背景技術(shù)

[0002] 在航天、航空、電子和核能等型號(hào)工程中,檢漏技術(shù)的應(yīng)用十分廣泛??臻g環(huán)模設(shè)備、高能加速器、核輻射物理裝置、等離子體物理裝置、受控?zé)岷朔磻?yīng)裝置的真空室若有微小的泄漏,無法獲得超高真空,無法正常工作,檢漏儀器主要實(shí)現(xiàn)對(duì)真空系統(tǒng)漏率的檢測(cè),通過堵漏實(shí)現(xiàn)超真空的維持,保證真空系統(tǒng)的正常運(yùn)行。目前,為了縮短校準(zhǔn)周期,檢漏儀器的校準(zhǔn)多采用單點(diǎn)校準(zhǔn),獲得某一標(biāo)準(zhǔn)流量下的校準(zhǔn)系數(shù),并認(rèn)為該校準(zhǔn)系數(shù)適用于整個(gè)量程的校準(zhǔn),但實(shí)際上,這種方法獲得的校準(zhǔn)系數(shù)只適用于整個(gè)量程中的某一段,在其他段時(shí)會(huì)有偏差,因此全量程的校準(zhǔn)需要進(jìn)行多次單點(diǎn)校準(zhǔn),校準(zhǔn)周期較長,并且也不能同時(shí)對(duì)多臺(tái)檢漏儀器進(jìn)行校準(zhǔn)。
[0003] 因此,為了提高校準(zhǔn)效率,需要設(shè)計(jì)一種快速校準(zhǔn)多臺(tái)檢漏儀器的裝置,可采用多種示漏氣體,快速實(shí)現(xiàn)對(duì)多臺(tái)檢漏儀器的校準(zhǔn)。

發(fā)明內(nèi)容

[0004] 有鑒于此,本發(fā)明提供了一種檢漏儀器的多通道快速校準(zhǔn)裝置,能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)多臺(tái)檢漏儀器的同時(shí)校準(zhǔn),且校準(zhǔn)范圍較寬,校準(zhǔn)速度快、精度高,并能滿足對(duì)多種示漏氣體的校準(zhǔn)。
[0005] 本發(fā)明的檢漏儀器的多通道快速校準(zhǔn)裝置包括供氣系統(tǒng)、針截止閥、壓計(jì)、穩(wěn)壓室、抽氣系統(tǒng)、N個(gè)小孔、比較室和M個(gè)待校準(zhǔn)檢漏儀器,其中N為大于或等于2的自然數(shù)、M為大于或等于1的自然數(shù);
[0006] 其中,供氣系統(tǒng)用于提供校準(zhǔn)所用示漏氣體,供氣系統(tǒng)依次通過針閥、截止閥與穩(wěn)壓室連接;抽氣系統(tǒng)通過抽氣系統(tǒng)截止閥與穩(wěn)壓室連接;N個(gè)小孔的入口分別通過各自對(duì)應(yīng)的入口截止閥與穩(wěn)壓室連接,N個(gè)小孔的出口分別通過各自對(duì)應(yīng)的出口截止閥與比較室連接;M個(gè)待校準(zhǔn)的檢漏儀器分別通過各自對(duì)應(yīng)的入口截止閥與比較室連接;所述穩(wěn)壓室和比較室分別設(shè)有壓力計(jì)。
[0007] 采用上述校準(zhǔn)裝置進(jìn)行的多通道快速校準(zhǔn)方法,校準(zhǔn)步驟如下:
[0008] 步驟1,打開抽氣系統(tǒng)截止閥,啟動(dòng)抽氣系統(tǒng),打開供氣系統(tǒng)與小孔氣體通道之間的針閥和截止閥,抽除小孔、穩(wěn)壓室、以及小孔、穩(wěn)壓室、供氣系統(tǒng)之間的管道中的氣體;
[0009] 步驟2,打開待校準(zhǔn)檢漏儀器的入口截止閥,待校準(zhǔn)檢漏儀器預(yù)熱后,打開各小孔的出口截止閥,利用待校準(zhǔn)檢漏儀器內(nèi)部的抽氣系統(tǒng)抽除比較室以及小孔、比較室、待校準(zhǔn)檢漏儀器之間的管道中的氣體;
[0010] 步驟3,關(guān)閉抽氣系統(tǒng)截止閥、小孔出口截止閥、待校準(zhǔn)檢漏儀器入口截止閥,打開供氣系統(tǒng),向穩(wěn)壓室中提供滿足壓力要求的氣體;
[0011] 步驟4,關(guān)閉針閥、供氣系統(tǒng)截止閥,待穩(wěn)壓室內(nèi)氣體壓力穩(wěn)定后,記錄穩(wěn)壓室的壓力p0,計(jì)算獲得p0下各小孔對(duì)應(yīng)的流量為Qs1、Qs2、Qs3,…,QsN;
[0012] 步驟5,打開小孔A對(duì)應(yīng)的出口截止閥及待校準(zhǔn)檢漏儀器A對(duì)應(yīng)的入口截止閥,由待校準(zhǔn)檢漏儀器A測(cè)量獲得待校準(zhǔn)檢漏儀器A在小孔A標(biāo)準(zhǔn)流量下的漏率值為QL11;關(guān)閉待校準(zhǔn)檢漏儀器A對(duì)應(yīng)的入口截止閥、打開待校準(zhǔn)檢漏儀器B對(duì)應(yīng)的入口截止閥,由待校準(zhǔn)檢漏儀器B測(cè)量獲得待校準(zhǔn)檢漏儀器B在小孔A標(biāo)準(zhǔn)流量下的漏率值為QL21;依次類推,得到M個(gè)待校準(zhǔn)檢漏儀器在小孔A標(biāo)準(zhǔn)流量下的漏率值QL11,QL21,QL31,…,QLM1;
[0013] 步驟6,關(guān)閉所有截止閥,打開小孔B對(duì)應(yīng)的出口截止閥及待校準(zhǔn)檢漏儀器A對(duì)應(yīng)的入口截止閥,由待校準(zhǔn)檢漏儀器A測(cè)量獲得待校準(zhǔn)檢漏儀器A在小孔B標(biāo)準(zhǔn)流量下的漏率值為QL12;關(guān)閉待校準(zhǔn)檢漏儀器A對(duì)應(yīng)的入口截止閥、打開待校準(zhǔn)檢漏儀器B對(duì)應(yīng)的入口截止閥,由待校準(zhǔn)檢漏儀器B測(cè)量獲得待校準(zhǔn)檢漏儀器B在小孔B標(biāo)準(zhǔn)流量下的漏率值為QL22;依次類推,得到M個(gè)待校準(zhǔn)檢漏儀器在小孔B標(biāo)準(zhǔn)流量下的漏率值QL12,QL22,QL32,……,QLM2;
[0014] 步驟7,依次類推,獲得M個(gè)待校準(zhǔn)檢漏儀器在小孔N標(biāo)準(zhǔn)流量下的漏率值QL1N,QL2N,QL3N,……,QLMN;
[0015] 步驟8,計(jì)算各待校準(zhǔn)檢漏儀器的校準(zhǔn)系數(shù):
[0016] 各待校準(zhǔn)檢漏儀器在其量程范圍內(nèi)的校準(zhǔn)系數(shù)為:
[0017]
[0018] 其中,下標(biāo)n表示第n個(gè)小孔,小標(biāo)m表示第m個(gè)待校準(zhǔn)檢漏儀器,n=1,2,…,N,m=1,2,…,M;至此,完成對(duì)多個(gè)待校準(zhǔn)檢漏儀器的同時(shí)、快速校準(zhǔn)。
[0019] 有益效果:
[0020] 本發(fā)明能夠獲得檢漏儀器在多個(gè)標(biāo)準(zhǔn)流量下的檢測(cè)值,獲得的校準(zhǔn)系數(shù)能夠適用于全量程,校準(zhǔn)精度高,校準(zhǔn)周期短,效率高;并且本發(fā)明能夠同時(shí)對(duì)多臺(tái)撿漏儀器進(jìn)行校準(zhǔn),校準(zhǔn)效率高。此外,本發(fā)明供氣系統(tǒng)能夠按照檢漏儀器校準(zhǔn)要求,提供不同的氣體,適用廣泛。附圖說明
[0021] 圖1為本發(fā)明校準(zhǔn)裝置結(jié)構(gòu)示意圖。
[0022] 其中,1-供氣系統(tǒng),2-針閥,3-截止閥a,4-壓力計(jì)A,5-穩(wěn)壓室,6-截止閥k,7-抽氣系統(tǒng),8-截止閥b,9-截止閥c,10-截止閥d,11-小孔A,12-小孔B,13-小孔C,14-截止閥e,15-截止閥f,16-截止閥g,17-壓力計(jì)B,18-比較室,19-截止閥h,20-截止閥i,21-截止閥j,22-待校準(zhǔn)檢漏儀器A,23-待校準(zhǔn)檢漏儀器B,24-待校準(zhǔn)檢漏儀器C。

具體實(shí)施方式

[0023] 下面結(jié)合附圖并舉實(shí)施例,對(duì)本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)描述。
[0024] 本發(fā)明提供了一種檢漏儀器的多通道快速校準(zhǔn)裝置及方法,如圖1所示,包括供氣系統(tǒng)1、針閥2、截止閥、壓力計(jì)、穩(wěn)壓室5、抽氣系統(tǒng)7、N個(gè)小孔(N為大于或等于2的自然數(shù))、比較室18和M個(gè)待校準(zhǔn)檢漏儀器(M為大于或等于1的自然數(shù))。其中,供氣系統(tǒng)1可以按照校準(zhǔn)要求提供多種示漏氣體,供氣系統(tǒng)1依次通過針閥2、截止閥a?3與穩(wěn)壓室5連接,為校準(zhǔn)提供所需壓力的氣體,其中針閥2用于調(diào)節(jié)穩(wěn)壓室5中的氣體壓力。抽氣系統(tǒng)7通過截止閥k6與穩(wěn)壓室5連接,用于抽除穩(wěn)壓室中多余的氣體。穩(wěn)壓室內(nèi)的氣體通過不同的截止閥與對(duì)應(yīng)的小孔的入口連接,小孔的出口通過各自對(duì)應(yīng)的截止閥與比較室18連接,在小孔入口氣體壓力(即穩(wěn)壓室5內(nèi)氣體壓力)不變的情況下,利用各小孔直徑的不同,為各校準(zhǔn)通道提供不同的標(biāo)準(zhǔn)流量;M個(gè)待校準(zhǔn)的檢漏儀器(M為大于等于1的自然數(shù))通過各自對(duì)應(yīng)的截止閥與比較室18連接,通過改變小孔出口截止閥及待校準(zhǔn)檢漏儀器對(duì)應(yīng)的截止閥的開關(guān)狀態(tài)實(shí)現(xiàn)對(duì)多臺(tái)待校準(zhǔn)檢漏儀器的快速校準(zhǔn)。穩(wěn)壓室(5)和比較室(18)分別連接有壓力計(jì),用于測(cè)量其中氣體的壓力。所有管道、截止閥、針閥、穩(wěn)壓室、比較室等采用的材料均為不銹。
[0025] 以N個(gè)小孔、M個(gè)待校準(zhǔn)檢漏儀器,N=3,M=3,為例進(jìn)行校準(zhǔn),具體測(cè)量方法如下:
[0026] 步驟1,打開截止閥k?6,啟動(dòng)抽氣系統(tǒng)7,打開針閥2、截止閥a?3、截止閥b?8、截止閥c?9、截止閥d?10,抽除小孔、穩(wěn)壓室5、以及小孔、穩(wěn)壓室5、供氣系統(tǒng)1之間的管道中的氣體;
[0027] 步驟2,打開截止閥h?19、截止閥i?20、截止閥j?21,并對(duì)待校準(zhǔn)檢漏儀器進(jìn)行預(yù)熱,打開截止閥e?14、截止閥f?15、截止閥g?16,利用待校準(zhǔn)檢漏儀器內(nèi)部的抽氣系統(tǒng)抽除比較室18以及小孔、比較室18、待校準(zhǔn)檢漏儀器之間的管道中的氣體;
[0028] 步驟3,關(guān)閉截止閥k?6、截止閥e14、截止閥f?15、截止閥g?16、截止閥h?19、截止閥i?20和截止閥j?21,打開供氣系統(tǒng)1,通過針閥2、截止閥a?3向穩(wěn)壓室5中提供滿足壓力要求的氣體;
[0029] 步驟4,關(guān)閉針閥2、截止閥a?3,待穩(wěn)壓室5內(nèi)氣體壓力穩(wěn)定后,記錄穩(wěn)壓室5中的壓力計(jì)A?4的壓力p0,通過p0及小孔A?11、小孔B?12、小孔C?13的直徑,分別得到小孔A?11、小孔B?12、小孔C?13對(duì)應(yīng)的流量為Qs1、Qs2、Qs3;
[0030] 步驟5,打開截止閥e?14及截止閥h?19,測(cè)量獲得待校準(zhǔn)檢漏儀器A?22在小孔A?11標(biāo)準(zhǔn)流量下對(duì)應(yīng)測(cè)得的漏率值為QL11;關(guān)閉截止閥h?19、打開截止閥i?20,測(cè)量獲得待校準(zhǔn)檢漏儀器B?23在小孔A?11標(biāo)準(zhǔn)流量下對(duì)應(yīng)測(cè)得的漏率值為QL21;依次類推,僅打開待校準(zhǔn)撿漏儀器C?24對(duì)應(yīng)的截止閥,得到待校準(zhǔn)撿漏儀器C?24在小孔A11標(biāo)準(zhǔn)流量下對(duì)應(yīng)測(cè)量的漏率值示值QL31;
[0031] 步驟6,關(guān)閉所有截止閥,打開截止閥f?15及截止閥h?19,待校準(zhǔn)檢漏儀器A?22在小孔B?12標(biāo)準(zhǔn)流量下對(duì)應(yīng)測(cè)得的漏率值為QL12;關(guān)閉截止閥h?19、打開截止閥i?20,待校準(zhǔn)檢漏儀器B?23在小孔B?12標(biāo)準(zhǔn)流量下對(duì)應(yīng)測(cè)得的漏率值為QL22;依次類推,僅打開待校準(zhǔn)撿漏儀器C?24對(duì)應(yīng)的截止閥,得到待校準(zhǔn)撿漏儀器C?24在小孔B?12標(biāo)準(zhǔn)流量下對(duì)應(yīng)測(cè)量的漏率值示值QL32;
[0032] 步驟7,關(guān)閉所有截止閥,打開截止閥g?16及截止閥h?19,待校準(zhǔn)檢漏儀器A?22在小孔C?13標(biāo)準(zhǔn)流量下對(duì)應(yīng)測(cè)得的漏率值為QL13;關(guān)閉截止閥h?19、打開截止閥i?20,待校準(zhǔn)檢漏儀器B?23在小孔C?13標(biāo)準(zhǔn)流量下對(duì)應(yīng)測(cè)得的漏率值為QL23;依次類推,僅打開待校準(zhǔn)撿漏儀器C?24對(duì)應(yīng)的截止閥,得到待校準(zhǔn)撿漏儀器C?24在小孔C?13標(biāo)準(zhǔn)流量下對(duì)應(yīng)測(cè)量的漏率值示值QL33;
[0033] 步驟8,計(jì)算各待校準(zhǔn)檢漏儀器的校準(zhǔn)系數(shù):
[0034] 其中,待校準(zhǔn)檢漏儀器A?22在其量程范圍內(nèi)的校準(zhǔn)系數(shù)為
[0035]
[0036] 待校準(zhǔn)檢漏儀器B?23在其量程范圍內(nèi)的校準(zhǔn)系數(shù)為
[0037]
[0038] …………
[0039] 待校準(zhǔn)檢漏儀器C?24在其量程范圍內(nèi)的校準(zhǔn)系數(shù)為
[0040]
[0041] 至此,完成對(duì)多個(gè)待校準(zhǔn)檢漏儀器的同時(shí)、快速校準(zhǔn)。
[0042] 綜上所述,以上僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施例而已,并非用于限定本發(fā)明的保護(hù)范圍。凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi),所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等,均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
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