技術領域
[0001] 本實用新型屬于容器氣密性試驗裝置領域,尤其涉及一種容器氣密試驗氣體循環(huán)利用裝置。
背景技術
[0002] 本實用新型背景技術公開的信息僅僅旨在增加對本實用新型總體背景的理解，而不必然被視為承認或以任何形式暗示該信息構成已經(jīng)成為本領域一般技術人員所公知的
現(xiàn)有技術。
[0003]
電子工業(yè)是當今推動科技發(fā)展的高新技術產(chǎn)業(yè)，由于所用氣體的品種多、
質(zhì)量要求高，為有別于其它領域應用的氣體，人們把這類在電子工業(yè)中用的氣體統(tǒng)稱為電子特種氣體，它是當今興起的高技術含量、高投入、高附加值得高新技術產(chǎn)業(yè)。電子特種氣體的應用領域主要在
半導體集成
電路生產(chǎn)制造、非晶
硅太陽能電池、
液晶顯示器件、光導
纖維生產(chǎn)的四大領域，其中主要應用于半導體集成電路的生產(chǎn)制造。在半導體工業(yè)中應用的有110余種單元特種氣體，其中常用的有20～30種。由此可以看出電子特種氣體的發(fā)展直接帶動高新技術產(chǎn)業(yè)發(fā)展。根據(jù)市場考察，氣瓶內(nèi)
表面處理后主要充裝氣體純度在99.9999％以上的電子氣體，如六氟化硫(SF6)、三氟化氮(NF3)、
氧化氮(N2O)、氦氣(He)、氯化氫(HCl)、硅烷(SiH4)等介質(zhì)。為保護高純?nèi)萜鲀?nèi)表面、確保高純度容器
密封性能，需進行密封性能試驗、檢漏試驗等。此時采用的氣體為高純氮氣，用高純氮氣進行氣密性試驗；然而，本
發(fā)明人發(fā)現(xiàn)：若保壓一定時間后直接放空，造成資源浪費及增加生產(chǎn)成本。實用新型內(nèi)容
[0004] 針對上述的現(xiàn)有技術中存在的問題，本實用新型旨在提供一種容器氣密試驗氣體循環(huán)利用裝置。本實用新型設計的循環(huán)利用裝置，既能滿足使用要求，又可以實現(xiàn)測試用氣體的循環(huán)使用。
[0005] 為實現(xiàn)上述目的，本實用新型的技術方案具體如下：
[0006] 一種容器氣密試驗氣體循環(huán)利用裝置，包括：氣體
蓄能器、打壓系統(tǒng)、配氣裝置、氣體緩沖裝置和熱
風機；其中：
[0007] 所述氣體蓄能器分為高、中、低壓三個區(qū)域，該三個區(qū)域分別設置有支路管道，所述打壓系統(tǒng)通過總管分別與上述三個區(qū)域各自的支路管道連通，且每個支路管道上均設置有
閥門，即：高壓區(qū)支路管道、中壓區(qū)支路管道、低壓區(qū)支路管道上分別設置有第一閥門、第二閥門、第三閥門。
[0008] 所述配氣裝置與所述總管連接，且兩者的連通管路上設置有第四閥門；且第四閥門和打壓系統(tǒng)之間的這部分總管上設置有第五閥門。
[0009] 所述氣體蓄能器、氣體緩沖裝置、熱風機的進氣口依次相連，且氣體緩沖裝置與氣體蓄能器的高、中、低壓三個區(qū)域均連接，連接管路上均設置有閥門。
[0010] 與現(xiàn)有技術相比，本實用新型取得了以下有益效果：
[0011] (1)本實用新型設計的循環(huán)利用裝置，既能滿足使用要求，又可以實現(xiàn)測試用氣體的循環(huán)使用，達到節(jié)約氣體的效果。
[0012] (2)本實用新型利用氮氣對氣瓶內(nèi)部進行加熱，保證了高純度容器內(nèi)壁的潔凈度。
附圖說明
[0013] 構成本實用新型的一部分的
說明書附圖用來提供對本實用新型的進一步理解，本實用新型的示意性
實施例及其說明用于解釋本實用新型，并不構成對本實用新型的不當限定。
[0014] 圖1為本實用新型實施例1中容器氣密試驗氣體循環(huán)利用裝置的結構示意圖。
[0015] 圖2為本實用新型實施例2中容器氣密試驗氣體循環(huán)利用裝置的結構示意圖。
[0016] 圖3為本實用新型實施例3中容器氣密試驗氣體循環(huán)利用裝置的結構示意圖。
[0017] 附圖中標記分別代表：1-氣體蓄能器、2-打壓系統(tǒng)、3-配氣裝置、4-氣體緩沖裝置、5-熱風機、6-總管、7-第一閥門、8-第二閥門、9-第三閥門、10-第四閥門、11-第五閥門、12-低溫槽車、13-
增壓泵撬、14-高壓
氣化器、15-高壓軟管、16-氣瓶。
具體實施方式
[0018] 應該指出，以下詳細說明都是例示性的，旨在對本實用新型提供進一步的說明。除非另有指明，本文使用的所有技術和科學術語具有與本實用新型所屬技術領域的普通技術人員通常理解的相同含義。
[0019] 需要注意的是，這里所使用的術語僅是為了描述具體實施方式，而非意圖限制根據(jù)本實用新型的示例性實施方式。如在這里所使用的，除非上下文另外明確指出，否則單數(shù)形式也意圖包括復數(shù)形式，此外，還應當理解的是，當在本說明書中使用術語“包含”和/或“包括”時，其指明存在特征、步驟、操作、器件、組件和/或它們的組合。
[0020] 正如背景技術所述，為保護高純?nèi)萜鲀?nèi)表面、確保高純度容器密封性能，需進行密封性能試驗、檢漏試驗等。此時采用的氣體為高純氮氣，用高純氮氣進行氣密性試驗；然而，若保壓一定時間后直接放空，造成資源浪費及增加生產(chǎn)成本。為此，本實用新型提出一種容器氣密試驗氣體循環(huán)利用裝置。
[0021] 在一些典型的實施例中，所述打壓系統(tǒng)包括：依次相連的低溫槽車、
增壓泵撬、高壓氣化器，且上述三者之間的連通管路上設置有閥門；所述高壓氣化器與第五閥門連接。
[0022] 在一些典型的實施例中，所述配氣裝置和待測氣瓶之間通過高壓軟管實現(xiàn)連接。
[0023] 在一些典型的實施例中，所述第一閥門、第二閥門、第三閥門和蓄能器之間均設置有氣壓表。
[0024] 在一些典型的實施例中，所述配氣裝置的出氣口設置有多根支管，以便于同時為多個待測氣瓶進行配氣。
[0025] 在一些典型的實施例中，所述配氣裝置和第四閥門之間設置有氣壓表。
[0026] 在一些典型的實施例中，所述蓄能器中充入的是氮氣，即整個氣密性測試以及對氣瓶的干燥采用氮氣進行。
[0027] 現(xiàn)結合附圖和具體實施方式對本實用新型進一步進行說明。
[0028] 參考圖1，一種容器氣密試驗氣體循環(huán)利用裝置，包括：氣體蓄能器1、打壓系統(tǒng)2、配氣裝置3、氣體緩沖裝置4和熱風機5；其中：
[0029] 所述氣體蓄能器1分為高、中、低壓三個區(qū)域，該三個區(qū)域分別設置有支路管道，所述打壓系統(tǒng)2通過總管6分別與上述三個區(qū)域各自的支路管道連通，且每個支路管道上均設置有閥門，即：高壓區(qū)支路管道、中壓區(qū)支路管道、低壓區(qū)支路管道上分別設置有第一閥門7、第二閥門8、第三閥門9。
[0030] 所述配氣裝置3與所述總管6連接，且兩者的連通管路上設置有第四閥門10；且第四閥門10和打壓系統(tǒng)2之間的這部分總管6上設置有第五閥門11。所述打壓系統(tǒng)2的主要作用是為蓄能器提供高壓氣源，并在蓄能器中氣壓降低到設定值以下時補充充氣，以提高蓄能器中氣壓。
[0031] 所述氣體蓄能器1、氣體緩沖裝置4、熱風機5的進氣口依次相連，且氣體緩沖裝置4與氣體蓄能器1的高、中、低壓三個區(qū)域均連接，連接管路上均設置有閥門。所述氣體緩沖裝置4的主要作用是用于緩存來自蓄能器中的氣體，這些氣體被熱風機5加熱后，從熱風機5的出氣口輸出對待測氣瓶16的內(nèi)部進行干燥。
[0032] 可以理解的是，蓄能器在工業(yè)領域已經(jīng)廣泛應用，技術人員可直接采用現(xiàn)有的蓄能器；例如
彈簧式蓄能器，它依靠
壓縮彈簧把液壓系統(tǒng)中的過剩壓
力能轉(zhuǎn)化為彈簧
勢能存儲起來，需要時釋放出去。另外，所述熱風機5即為具有加熱功能的
吹風機，所述加熱功能可通過電熱絲實現(xiàn)，熱風機也已在工業(yè)領域廣泛應用，可直接采用市售產(chǎn)品。
[0033] 參考圖2，所述打壓系統(tǒng)2包括：依次相連的低溫槽車12、增壓泵撬13、高壓氣化器14，且低溫槽車12與增壓泵撬13之間的連通管路上設置有閥門，增壓泵撬13與高壓氣化器
14的連通管路上設置有閥門；所述高壓氣化器14與第五閥門11連接。低溫槽車將其中存儲的高壓
液化氣轉(zhuǎn)入增壓泵撬后再轉(zhuǎn)入高壓氣化器，得到高壓氣體，便于對蓄能器進行充入高壓氣體。
[0034] 參考圖3，所述配氣裝置5和待測氣瓶16之間通過高壓軟管15實現(xiàn)連接，進而將高壓氣體充入待測氣瓶16。
[0035] 進一步地，所述第一閥門7、第二閥門8、第三閥門9和蓄能器之間均設置有氣壓表，以便于檢測蓄能器中氣體氣壓。
[0036] 進一步地，所述配氣裝置3的出氣口設置有多根支管，以便于同時為多個待測氣瓶16進行配氣；同時，所述配氣裝置3和第四閥門10之間設置有氣壓表，以便于檢測配氣時的氣壓。
[0037] 進一步地，采用上述氣體循環(huán)利用裝置進行容器氣密試驗的基本操作方法為：
[0038] 1、首先按照示意圖連接好各部件；所有閥門均處于閉合狀態(tài)。
[0039] 2、打壓前關閉第一閥門7、第二閥門8、第五閥門11，其余閥門打開,啟動打壓系統(tǒng)2向蓄能器1的高、中壓區(qū)充入高壓氣體，當蓄能器壓力達到設定值(如22MPa)后，關閉打壓系統(tǒng)和打開的閥門。
[0040] 3、打開蓄能器1和氣體緩沖裝置4高、中壓區(qū)之間的閥門，其余閥門關閉，蓄能器1中的氣體進入氣體緩沖裝置4,利用熱風機5對氣體加熱到一定
溫度后對高純度容器進行烘干，烘干完畢后，關閉打開的閥門，并對高純度容器進行封堵。
[0041] 4、打開第一閥門7和第四閥門10，將高壓氣體充入待測氣瓶16中進行氣密性試驗，達到試驗壓力(如16.6MPa)后關閉上述閥門，通過檢測氣瓶內(nèi)的壓力變化判斷氣密性是否良好。
[0042] 5、試驗完畢后，打開第三閥門9和第四閥門10,使氣瓶內(nèi)的氣體返回蓄能器1的低壓區(qū)內(nèi)，實現(xiàn)對氣體的回收，這些氣體升壓后可用于下一次的氣密性試驗，實現(xiàn)氣體的循環(huán)利用。當蓄能器內(nèi)氣體壓力不足時通過打壓系統(tǒng)提高壓力。
[0043] 以上所述僅為本實用新型的優(yōu)選實施例，并不用于限制本實用新型，對于本領域的技術人員來說，本實用新型可以有各種更改和變化。凡在本實用新型的精神和原則之內(nèi)，所作的任何
修改、等同替換、改進等，均應包含在本實用新型的保護范圍之內(nèi)。
