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一種電子蒸發(fā)膜機鍍膜修正裝置

閱讀:509發(fā)布:2020-05-13

專利匯可以提供一種電子蒸發(fā)膜機鍍膜修正裝置專利檢索,專利查詢,專利分析的服務(wù)。并且一種 電子 束 蒸發(fā) 鍍 膜 機鍍膜修正裝置,包括固定修正裝置Ⅰ、固定修正裝置Ⅱ、活動修正裝置、1個蒸發(fā)源、4個 鹵素?zé)? 、1個離子源和1個電子槍;所述1個蒸發(fā)源、4個鹵素?zé)簟?個離子源在同一個分度圓上,所述4個鹵素?zé)舴譃閮山M,沿中心 位置 兩側(cè)對稱;蒸發(fā)源位于爐體中心對稱位置;離子源位于爐體左側(cè);電子槍位于爐體右側(cè);固定修正裝置Ⅰ位于左側(cè)兩個鹵素?zé)糁虚g位置,安裝在爐體內(nèi)壁上;固定修正裝置Ⅱ位于右側(cè)鹵素?zé)襞c電子槍中間位置,并安裝在爐體內(nèi)壁上;固定修正裝置Ⅰ與固定修正裝置Ⅱ安裝高度一致;活動修正裝置位于爐體右側(cè),位于電子槍上方。本 發(fā)明 具有結(jié)構(gòu)簡單,修正裝置數(shù)量少、效果好等優(yōu)點。,下面是一種電子蒸發(fā)膜機鍍膜修正裝置專利的具體信息內(nèi)容。

1.一種電子蒸發(fā)膜機鍍膜修正裝置,其特征在于:包括固定修正裝置Ⅰ、固定修正裝置Ⅱ、活動修正裝置、1個蒸發(fā)源、4個鹵素?zé)?/a>、1個離子源和1個電子槍;
所述1個蒸發(fā)源、4個鹵素?zé)簟?個離子源在同一個分度圓上,所述4個鹵素?zé)舴譃閮山M,沿中心位置兩側(cè)對稱;所述蒸發(fā)源位于爐體中心對稱位置;所述離子源位于爐體左側(cè);所述電子槍位于爐體右側(cè);
所述固定修正裝置Ⅰ位于左側(cè)兩個鹵素?zé)糁虚g位置,安裝在爐體內(nèi)壁上,能沿安裝位置平方向旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié);所述固定修正裝置Ⅱ位于右側(cè)鹵素?zé)襞c電子槍中間位置,并安裝在爐體內(nèi)壁上,能沿安裝位置水平方向旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié);所述固定修正裝置Ⅰ與固定修正裝置Ⅱ安裝高度一致;所述活動修正裝置位于爐體右側(cè),位于電子槍上方,能沿安裝位置水平方向旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電子束蒸發(fā)鍍膜機鍍膜修正裝置,其特征在于:所述蒸發(fā)源靠近爐體出風(fēng)口。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的電子束蒸發(fā)鍍膜機鍍膜修正裝置,其特征在于:所述離子源靠近爐
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的電子束蒸發(fā)鍍膜機鍍膜修正裝置,其特征在于:所述電子槍靠近爐門。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的電子束蒸發(fā)鍍膜機鍍膜修正裝置,其特征在于:所述固定修正裝置Ⅰ上修正板靠近鍍膜機抽氣口。

說明書全文

一種電子蒸發(fā)膜機鍍膜修正裝置

技術(shù)領(lǐng)域

[0001] 本發(fā)明涉及一種電子束蒸發(fā)鍍膜機鍍膜修正裝置。

背景技術(shù)

[0002] 現(xiàn)有鍍膜機修正裝置通常采用四個固定修正裝置和一個垂直活動修正裝置,固定修正方式未考慮腔體抽氣對鍍膜均勻性的影響,且垂直活動修正裝置既要保證修正板與蒸發(fā)源的相對高度又要保證垂直運動空間在結(jié)構(gòu)上往往很難同時滿足。

發(fā)明內(nèi)容

[0003] 本發(fā)明所要解決的計算問題是,提供一種結(jié)構(gòu)簡單,修正裝置數(shù)量少、效果好,適應(yīng)范圍更廣的電子束蒸發(fā)鍍膜機鍍膜修正裝置。
[0004] 本發(fā)明解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是:一種電子束蒸發(fā)鍍膜機鍍膜修正裝置,包括固定修正裝置Ⅰ、固定修正裝置Ⅱ、活動修正裝置、1個蒸發(fā)源、4個鹵素?zé)?/a>、1個離子源和1個電子槍;所述1個蒸發(fā)源、4個鹵素?zé)簟?個離子源在同一個分度圓上,所述4個鹵素?zé)舴譃閮山M,沿中心位置兩側(cè)對稱;所述蒸發(fā)源位于爐體中心對稱位置;所述離子源位于爐體左側(cè);所述電子槍位于爐體右側(cè);
所述固定修正裝置Ⅰ位于左側(cè)兩個鹵素?zé)糁虚g位置,安裝在爐體內(nèi)壁上,能沿安裝位置平方向旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié);所述固定修正裝置Ⅱ位于右側(cè)鹵素?zé)襞c電子槍中間位置,并安裝在爐體內(nèi)壁上,能沿安裝位置水平方向旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié);所述固定修正裝置Ⅰ與固定修正裝置Ⅱ安裝高度一致;所述活動修正裝置位于爐體右側(cè),位于電子槍上方,能沿安裝位置水平方向旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)。
[0005] 進(jìn)一步,所述蒸發(fā)源靠近爐體出風(fēng)口。
[0006] 進(jìn)一步,所述離子源靠近爐
[0007] 進(jìn)一步,所述電子槍靠近爐門。
[0008] 進(jìn)一步,所述固定修正裝置Ⅰ上修正板靠近鍍膜機抽氣口。
[0009] 本發(fā)明所述固定修正裝置Ⅰ1用于修正鍍膜過程中抽氣對鍍膜膜厚均勻性的影響;所述固定修正裝置Ⅱ2用于修正鍍膜過程中蒸發(fā)源蒸發(fā)物質(zhì),提高鍍膜過程中的均勻性;所述活動修正裝置3用于進(jìn)一步修正鍍膜過程中蒸發(fā)源蒸發(fā)物質(zhì),進(jìn)一步提高鍍膜過程中的膜厚均勻性。
[0010] 本發(fā)明采用兩個固定修正裝置(通用結(jié)構(gòu)為四個固定修正裝置,其中一個位置與通用結(jié)構(gòu)位置一致,另外一個靠近腔體抽氣口位置)和一個水平活動修正裝置(通用結(jié)構(gòu)為一個垂直活動修正裝置),結(jié)構(gòu)簡單,成本低;水平活動修正裝置相對垂直活動修正裝置,轉(zhuǎn)動過程中對腔體內(nèi)氣流攪動小,且結(jié)構(gòu)局限性小,適應(yīng)范圍更廣。
[0011] 與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明具有結(jié)構(gòu)簡單,修正裝置數(shù)量少、效果好等優(yōu)點。附圖說明
[0012] 圖1?為本發(fā)明電子束蒸發(fā)鍍膜機鍍膜修正裝置實施例的結(jié)構(gòu)示意圖;圖2?為圖1所示實施例的俯視圖;
圖中:1.固定修正裝置Ⅰ,2.固定修正裝置Ⅱ,3.活動修正裝置,4.爐體,5.離子源,6.鹵素?zé)簦?.蒸發(fā)源,8.電子槍。

具體實施方式

[0013] 以下結(jié)合附圖及實施例對本發(fā)明作進(jìn)一步說明。實施例
[0014] 參照圖1-圖2,一種電子束蒸發(fā)鍍膜機鍍膜修正裝置,包括固定修正裝置Ⅰ1、固定修正裝置Ⅱ2、活動修正裝置3、1個蒸發(fā)源7、4個鹵素?zé)?、1個離子源5、1個電子槍8,所述固定修正裝置Ⅰ1、固定修正裝置Ⅱ2和活動修正裝置3均固定在鍍膜機爐體4上;所述1個蒸發(fā)源7、4個鹵素?zé)?、1個離子源5在同一個分度圓上,所述4個鹵素?zé)?分為兩組,沿中心位置兩側(cè)對稱;所述蒸發(fā)源7位于爐體中心對稱位置,靠近爐體出風(fēng)口;所述離子源5位于爐體左側(cè)靠近爐門位置;所述電子槍8位于爐體右側(cè)靠近爐門位置;
所述固定修正裝置Ⅰ1位于左側(cè)兩個鹵素?zé)糁虚g位置,安裝在爐體內(nèi)壁上,能沿安裝位置水平方向旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié);所述固定修正裝置Ⅱ2位于右側(cè)鹵素?zé)襞c電子槍中間位置,并安裝在爐體內(nèi)壁上,能沿安裝位置水平方向旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié);所述固定修正裝置Ⅰ1與固定修正裝置Ⅱ2安裝高度一致,所述固定修正裝置Ⅰ1上修正板靠近鍍膜機抽氣口;所述活動修正裝置3位于爐體右側(cè),位于電子槍上方,能沿安裝位置水平方向旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)。
[0015] 所述固定修正裝置Ⅰ1用于修正鍍膜過程中抽氣對鍍膜膜厚均勻性的影響;所述固定修正裝置Ⅱ2用于修正鍍膜過程中蒸發(fā)源蒸發(fā)物質(zhì),提高鍍膜過程中的均勻性;所述活動修正裝置3用于進(jìn)一步修正鍍膜過程中蒸發(fā)源蒸發(fā)物質(zhì),進(jìn)一步提高鍍膜過程中的膜厚均勻性。
[0016] 工作過程中,可以通過調(diào)節(jié)固定修正裝置Ⅰ1,固定修正裝置Ⅱ2,活動修正裝置3的相對位置(旋轉(zhuǎn)度)實現(xiàn)鍍膜厚度的均勻性調(diào)節(jié)。
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