專利匯可以提供一種電子束蒸發(fā)鍍膜機鍍膜修正裝置專利檢索,專利查詢,專利分析的服務(wù)。并且一種 電子 束 蒸發(fā) 鍍 膜 機鍍膜修正裝置,包括固定修正裝置Ⅰ、固定修正裝置Ⅱ、活動修正裝置、1個蒸發(fā)源、4個 鹵素?zé)? 、1個離子源和1個電子槍;所述1個蒸發(fā)源、4個鹵素?zé)簟?個離子源在同一個分度圓上,所述4個鹵素?zé)舴譃閮山M,沿中心 位置 兩側(cè)對稱;蒸發(fā)源位于爐體中心對稱位置;離子源位于爐體左側(cè);電子槍位于爐體右側(cè);固定修正裝置Ⅰ位于左側(cè)兩個鹵素?zé)糁虚g位置,安裝在爐體內(nèi)壁上;固定修正裝置Ⅱ位于右側(cè)鹵素?zé)襞c電子槍中間位置,并安裝在爐體內(nèi)壁上;固定修正裝置Ⅰ與固定修正裝置Ⅱ安裝高度一致;活動修正裝置位于爐體右側(cè),位于電子槍上方。本 發(fā)明 具有結(jié)構(gòu)簡單,修正裝置數(shù)量少、效果好等優(yōu)點。,下面是一種電子束蒸發(fā)鍍膜機鍍膜修正裝置專利的具體信息內(nèi)容。
1.一種電子束蒸發(fā)鍍膜機鍍膜修正裝置,其特征在于:包括固定修正裝置Ⅰ、固定修正裝置Ⅱ、活動修正裝置、1個蒸發(fā)源、4個鹵素?zé)?/a>、1個離子源和1個電子槍;
所述1個蒸發(fā)源、4個鹵素?zé)簟?個離子源在同一個分度圓上,所述4個鹵素?zé)舴譃閮山M,沿中心位置兩側(cè)對稱;所述蒸發(fā)源位于爐體中心對稱位置;所述離子源位于爐體左側(cè);所述電子槍位于爐體右側(cè);
所述固定修正裝置Ⅰ位于左側(cè)兩個鹵素?zé)糁虚g位置,安裝在爐體內(nèi)壁上,能沿安裝位置水平方向旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié);所述固定修正裝置Ⅱ位于右側(cè)鹵素?zé)襞c電子槍中間位置,并安裝在爐體內(nèi)壁上,能沿安裝位置水平方向旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié);所述固定修正裝置Ⅰ與固定修正裝置Ⅱ安裝高度一致;所述活動修正裝置位于爐體右側(cè),位于電子槍上方,能沿安裝位置水平方向旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電子束蒸發(fā)鍍膜機鍍膜修正裝置,其特征在于:所述蒸發(fā)源靠近爐體出風(fēng)口。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的電子束蒸發(fā)鍍膜機鍍膜修正裝置,其特征在于:所述離子源靠近爐門。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的電子束蒸發(fā)鍍膜機鍍膜修正裝置,其特征在于:所述電子槍靠近爐門。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的電子束蒸發(fā)鍍膜機鍍膜修正裝置,其特征在于:所述固定修正裝置Ⅰ上修正板靠近鍍膜機抽氣口。
標(biāo)題 | 發(fā)布/更新時間 | 閱讀量 |
---|---|---|
一種蒸發(fā)速率可控的電子束蒸發(fā)源 | 2020-05-11 | 1023 |
一種蒸發(fā)速率可控的電子束蒸發(fā)源 | 2020-05-12 | 188 |
電子束蒸發(fā)鍍膜膜厚均勻性的修正方法 | 2020-05-14 | 46 |
一種利用電子束蒸發(fā)制備金屬薄膜的方法 | 2020-05-14 | 718 |
用于電子束蒸發(fā)薄膜的樣品夾具 | 2020-05-12 | 299 |
一種聚合物真空電子束蒸發(fā)鍍膜機 | 2020-05-13 | 912 |
電子束蒸發(fā)速率自動控制設(shè)備及其控制方法 | 2020-05-14 | 748 |
一種自動換靶的反應(yīng)電子束蒸發(fā)儀的應(yīng)用方法 | 2020-05-14 | 79 |
電子束蒸發(fā)源裝置 | 2020-05-13 | 777 |
開放式電子束蒸發(fā)源 | 2020-05-13 | 366 |
高效檢索全球?qū)@?/div>專利匯是專利免費檢索,專利查詢,專利分析-國家發(fā)明專利查詢檢索分析平臺,是提供專利分析,專利查詢,專利檢索等數(shù)據(jù)服務(wù)功能的知識產(chǎn)權(quán)數(shù)據(jù)服務(wù)商。
我們的產(chǎn)品包含105個國家的1.26億組數(shù)據(jù),免費查、免費專利分析。
分析報告專利匯分析報告產(chǎn)品可以對行業(yè)情報數(shù)據(jù)進(jìn)行梳理分析,涉及維度包括行業(yè)專利基本狀況分析、地域分析、技術(shù)分析、發(fā)明人分析、申請人分析、專利權(quán)人分析、失效分析、核心專利分析、法律分析、研發(fā)重點分析、企業(yè)專利處境分析、技術(shù)處境分析、專利壽命分析、企業(yè)定位分析、引證分析等超過60個分析角度,系統(tǒng)通過AI智能系統(tǒng)對圖表進(jìn)行解讀,只需1分鐘,一鍵生成行業(yè)專利分析報告。