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1.一種并聯(lián)式宏微高精度運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，其特征在于，第一直線驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)、第二直線驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)分別相互平行并對(duì)稱固定于基座(1)的平面前后兩側(cè)，第一支鏈、第二支鏈和第三支鏈?zhǔn)峭耆嗤?；終端平臺(tái)(2)置于第一直線驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)與第二直線驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)之間，終端平臺(tái)(2)為Y字形，三個(gè)頂端分別各自通過一個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)軸與三個(gè)支鏈的一端相連，第一支鏈、第二支鏈的另一端分別通過固定旋轉(zhuǎn)軸鉸接在第一直線進(jìn)給平臺(tái)(17)上，第三支鏈的另一端通過固定旋轉(zhuǎn)軸鉸接在第二直線進(jìn)給平臺(tái)(35)上；第一直線進(jìn)給平臺(tái)(17)通過導(dǎo)軌滑塊與第一直線驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)中的直線導(dǎo)軌相連，第二直線進(jìn)給平臺(tái)(35)通過導(dǎo)軌滑塊與第二直線驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)中的直線導(dǎo)軌相連；兩個(gè)直線光柵尺分別平行于第一直線驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)與第二直線驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的直線導(dǎo)軌；在基座(1)上固定安裝有平面光柵(54)；
直線驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的宏動(dòng)和各支鏈的微動(dòng)控制終端平臺(tái)的(2)的位置，在給定了終端平臺(tái)(2)所需達(dá)到的位置值后，通過機(jī)構(gòu)的位置逆解，分別獲得第一直線進(jìn)給平臺(tái)(17)和第二直線進(jìn)給平臺(tái)(35)的運(yùn)動(dòng)位置量，第一直線進(jìn)給平臺(tái)(17)的運(yùn)動(dòng)量通過第一直線光柵尺(19)進(jìn)行精確測(cè)量，將第一直線進(jìn)給平臺(tái)(17)的運(yùn)動(dòng)誤差量反饋給第一直線進(jìn)給平臺(tái)(17)上的第一伺服電機(jī)(4)進(jìn)行全閉環(huán)補(bǔ)償控制以保證第一直線進(jìn)給平臺(tái)(17)的運(yùn)動(dòng)位置；第二直線進(jìn)給平臺(tái)(35)的運(yùn)動(dòng)量通過第二直線光柵尺(37)進(jìn)行精確測(cè)量，將第二直線進(jìn)給平臺(tái)(35)的運(yùn)動(dòng)誤差量反饋給第二直線進(jìn)給平臺(tái)(35)上的第二伺服電機(jī)(22)進(jìn)行全閉環(huán)補(bǔ)償控制以保證第二直線進(jìn)給平臺(tái)(35)的運(yùn)動(dòng)位置；通過平面光柵(54)能測(cè)量出終端平臺(tái)(2)的運(yùn)動(dòng)誤差，將該誤差量利用各支鏈中的壓電陶瓷致動(dòng)器進(jìn)行補(bǔ)償。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種并聯(lián)式宏微高精度運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，其特征在于，所述第一直線驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的具體結(jié)構(gòu)包括第一伺服電機(jī)支撐座(3)固定在基座(1)上；第一伺服電機(jī)(4)固定安裝在第一伺服電機(jī)支撐座(3)上；第一滾珠絲杠(5)通過第一聯(lián)軸器(6)與第一伺服電機(jī)(4)的轉(zhuǎn)軸相連接；第一滾珠絲杠(5)在靠近第一聯(lián)軸器(6)的一端通過固定在基座(1)上的第一滾珠絲杠固定支撐座(7)進(jìn)行支撐轉(zhuǎn)動(dòng)，第一滾珠絲杠(5)的另一端通過固定在基座(1)上的第一滾珠絲杠浮動(dòng)支撐座(8)進(jìn)行支撐轉(zhuǎn)動(dòng)；在第一滾珠絲杠(5)上套接有第一絲杠螺母(9)，第一絲杠螺母座(10)與第一絲杠螺母(9)固定連接；在第一滾珠絲杠(5)的兩側(cè)分別布置有第一直線導(dǎo)軌(11)和第二直線導(dǎo)軌(12)，第一直線導(dǎo)軌(11)和第二直線導(dǎo)軌(12)分別與第一直線滾珠絲杠(5)軸線相平行，且第一導(dǎo)軌(11)與第一滾珠絲杠(5)的距離和第二直線導(dǎo)軌(12)與第一滾珠絲杠(5)的距離相等，第一直線導(dǎo)軌(11)和第二直線導(dǎo)軌(12)固定安裝于基座(1)上；在第一直線導(dǎo)軌(11)上安置有第一導(dǎo)軌滑塊(13)和第二導(dǎo)軌滑塊(14)，在第二直線導(dǎo)軌(12)上安置有第三導(dǎo)軌滑塊(15)和第四導(dǎo)軌滑塊(16)；第一直線進(jìn)給平臺(tái)(17)固定安裝于第一導(dǎo)軌滑塊(13)、第二導(dǎo)軌滑塊(14)、第三導(dǎo)軌滑塊(15)、第四導(dǎo)軌滑塊(16)和第一絲杠螺母座(10)上，第一滾珠絲杠(5)的旋轉(zhuǎn)將驅(qū)動(dòng)第一絲杠螺母(9)沿著第一滾珠絲杠(5)的軸向運(yùn)動(dòng)，從而能通過第一絲杠螺母座(10)帶動(dòng)第一直線進(jìn)給平臺(tái)(17)移動(dòng)，在第一直線進(jìn)給平臺(tái)(17)外側(cè)固定安裝有第一光柵連接板(18)；第一直線光柵尺(19)的第一光柵讀數(shù)頭(20)與第一光柵連接板(18)固定連接，第一直線光柵尺(19)固定安裝于基座(1)上，且與第一滾珠絲杠(5)軸線相平行。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種并聯(lián)式宏微高精度運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，其特征在于，所述第二直線驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的具體結(jié)構(gòu)包括第二伺服電機(jī)支撐座(21)固定在基座(1)上；第二伺服電機(jī)(22)固定安裝在第二伺服電機(jī)支撐座(21)上；第二滾珠絲杠(23)通過第二聯(lián)軸器(24)與第二伺服電機(jī)(22)的轉(zhuǎn)軸相連接；第二滾珠絲杠(23)在靠近第二聯(lián)軸器(24)的一端通過固定在基座(1)上的第二滾珠絲杠固定支撐座(25)進(jìn)行支撐轉(zhuǎn)動(dòng)，第二滾珠絲杠(23)的另一端通過固定在基座(1)上的第二滾珠絲杠浮動(dòng)支撐座(26)進(jìn)行支撐轉(zhuǎn)動(dòng)；在第二滾珠絲杠(23)上套接有第二絲杠螺母(27)，第二絲杠螺母座(28)與第二絲杠螺母(27)固定連接；在第二滾珠絲杠(23)的兩側(cè)分別布置有第三直線導(dǎo)軌(29)和第四直線導(dǎo)軌(30)，第三直線導(dǎo)軌(29)和第四直線導(dǎo)軌(30)分別與第二滾珠絲杠(23)軸線相平行，且第三直線導(dǎo)軌(29)與第二滾珠絲杠(23)的距離和第四直線導(dǎo)軌(30)與第二滾珠絲杠(23)的距離相等，第三直線導(dǎo)軌(29)和第四直線導(dǎo)軌(30)固定安裝于基座(1)上；在第三直線導(dǎo)軌(29)上安置有第五導(dǎo)軌滑塊(31)和第六導(dǎo)軌滑塊(32)，在第四直線導(dǎo)軌(30)上安置有第七導(dǎo)軌滑塊(33)和第八導(dǎo)軌滑塊(34)；第二直線進(jìn)給平臺(tái)(35)固定安裝于第五導(dǎo)軌滑塊(31)、第六導(dǎo)軌滑塊(32)、第七導(dǎo)軌滑塊(33)、第八導(dǎo)軌滑塊(34)和第二絲杠螺母座(28)上，第二滾珠絲杠(23)的旋轉(zhuǎn)將驅(qū)動(dòng)第二絲杠螺母(27)沿著第二滾珠絲杠(23)的軸向運(yùn)動(dòng)，從而能通過第二絲杠螺母座(28)帶動(dòng)第二直線進(jìn)給平臺(tái)(35)移動(dòng)；在第二直線進(jìn)給平臺(tái)(35)外側(cè)固定安裝有第二光柵連接板(36)；第二直線光柵尺(37)的第二光柵讀數(shù)頭(38)與第二光柵連接板固定連接，第二直線光柵尺(37)固定安裝于基座(1)上，且與第二滾珠絲杠(23)軸線相平行。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種并聯(lián)式宏微高精度運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，其特征在于，所述第一直線進(jìn)給平臺(tái)(17)、第一支鏈、第二支鏈、終端平臺(tái)(2)上的第一轉(zhuǎn)動(dòng)軸(40-1)和第二轉(zhuǎn)動(dòng)軸(40-
2)共同構(gòu)成了平行四邊形機(jī)構(gòu)，限制了終端平臺(tái)(2)的轉(zhuǎn)動(dòng)自由度，因此終端平臺(tái)(2)僅具有平面移動(dòng)自由度。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種并聯(lián)式宏微高精度運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，其特征在于，所述支鏈的主體部分為鉸鏈基體(41-1)；在鉸鏈基體(41-1)中包含有柔性單元，通過對(duì)其變形的控制實(shí)現(xiàn)平臺(tái)的微動(dòng)補(bǔ)償；柔性單元由柔性單元驅(qū)動(dòng)平臺(tái)(41-1-1)、柔性單元終端平臺(tái)(41-1-2)、與支鏈基體(41-1)軸線相垂直的矩形柔性鉸鏈甲(41-1-3)、矩形柔性鉸鏈乙(41-1-4)、矩形柔性鉸鏈丙(41-1-5)、矩形柔性鉸鏈丁(41-1-6)，和與支鏈基體(41-1)軸線相平行的矩形柔性鉸鏈戊(41-1-7)共同組成；柔性單元驅(qū)動(dòng)平臺(tái)(41-1-1)通過矩形柔性鉸鏈甲(41-1-
3)、矩形柔性鉸鏈乙(41-1-4)與鉸鏈基體(41-1)固定連接；柔性單元終端平臺(tái)(41-1-2)通過矩形柔性鉸鏈丙(41-1-5)、矩形柔性鉸鏈丁(41-1-6)與鉸鏈基體(41-1)固定連接；柔性單元驅(qū)動(dòng)平臺(tái)(41-1-1)和柔性單元終端平臺(tái)(41-1-2)通過矩形柔性鉸鏈戊(41-1-7)相互固定連接；壓電陶瓷致動(dòng)器(42-1)通過致動(dòng)器連接頭(43-1)與柔性單元驅(qū)動(dòng)平臺(tái)(41-1-1)固定連接；壓力傳感器(44-1)通過法蘭盤(45-1)與壓電陶瓷致動(dòng)器(42-1)的尾部固定連接，壓力傳感器(44-1)的軸向與壓電陶瓷致動(dòng)器(42-1)的軸向保持一致；壓力傳感器(44-
1)的另一端與預(yù)緊座(46-1)固定連接；預(yù)緊座(46-1)通過螺栓固定連接在支鏈基體(41-1)上，通過螺栓預(yù)緊對(duì)壓電陶瓷致動(dòng)器(42-1)施加軸向預(yù)緊載荷；支撐板(47-1)覆蓋于壓電陶瓷致動(dòng)器(42-1)、致動(dòng)器連接頭(43-1)、柔性單元驅(qū)動(dòng)平臺(tái)(41-1-1)、矩形柔性鉸鏈甲(41-1-3)、矩形柔性鉸鏈乙(41-1-4)、矩形柔性鉸鏈戊(41-1-7)的正上方并與鉸鏈基體(41-1)固定連接，高精度長(zhǎng)度計(jì)(48-1)的基體通過壓緊蓋(49-1)固定在支撐板(47-1)上；
長(zhǎng)度計(jì)(48-1)的測(cè)頭通過篤定在支撐板(47-1)上的夾緊單元(50-1)進(jìn)行固定，以保證長(zhǎng)度計(jì)(48-1)的測(cè)頭軸線與壓電陶瓷致動(dòng)器(42-1)的軸線相互平行；測(cè)量基座(51-1)固定安裝于柔性單元終端平臺(tái)(41-1-2)上；長(zhǎng)度計(jì)(48-1)的測(cè)頭始終與測(cè)量基座(51-1)的基準(zhǔn)面相互垂直接觸；在支鏈基體(41-1)的尾端上固定連接有配重塊(52-1)，以保證支鏈基體(41-
1)在運(yùn)動(dòng)過程中保持水平且實(shí)現(xiàn)的運(yùn)動(dòng)慣量的匹配。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種并聯(lián)式宏微高精度運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，其特征在于，所述終端平臺(tái)(2)的下端固定連接有平面光柵讀數(shù)頭(53)；在基座(1)上固定安裝有平面光柵(54)；平面光柵讀數(shù)頭(53)與平面光柵(54)之間保持0.5mm的間距；平面光柵讀數(shù)頭(53)的光路必須沿著平面光柵(54)的刻線，以保證正常的測(cè)量和讀數(shù)。