用于電子束蒸發(fā)薄膜的樣品夾具
專利匯可以提供用于電子束蒸發(fā)薄膜的樣品夾具專利檢索，專利查詢，專利分析的服務(wù)。并且本 發(fā)明 公開(kāi)了一種用于 電子 束 蒸發(fā) 薄膜 的樣品夾具，包括：一擋片，該擋片主體為長(zhǎng)方體，在該擋片的一側(cè)面開(kāi)有一凹槽，用以固定樣品一邊；該長(zhǎng)方體擋片的 正面 兩端各一 螺紋 孔，用以將擋片固定在樣品托上；一樣品托，該樣品托具有一供擋片滑動(dòng)的凹槽，且該樣品托中間有一方形通孔，該方形通孔兩側(cè)各有一個(gè)可穿過(guò)螺絲的矩形通孔，以便于用螺絲將擋片和樣品托固定在一起，樣品被夾在擋片的凹槽和樣品托之間。本發(fā)明提供的用于 電子束蒸發(fā) 薄膜的樣品夾具，能夠固定不同大小的樣品，只要樣品有一邊整齊就可以固定牢靠，可以適用于尺寸變化大，邊緣不規(guī)則的薄樣品，而且裝卸方便。，下面是用于電子束蒸發(fā)薄膜的樣品夾具專利的具體信息內(nèi)容。
1.一種用于電子束蒸發(fā)薄膜的樣品夾具，其特征在于，包括：
一擋片(2)，該擋片主體為長(zhǎng)方體，在該擋片的一側(cè)面開(kāi)有一凹槽(3)，用以固定樣品一邊；該長(zhǎng)方體擋片的正面兩端各一螺紋孔(1)，用以將擋片(2)固定在樣品托(4)上；
一樣品托(4)，該樣品托(4)具有一供擋片(2)滑動(dòng)的凹槽(8)，且該樣品托(4)中間有一方形通孔(7)，該方形通孔(7)兩側(cè)各有一個(gè)可穿過(guò)螺絲的矩形通孔(5)，以便于用螺絲將擋片(2)和樣品托(4)固定在一起，樣品被夾在擋片的凹槽(3)和樣品托(4)之間。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于電子束蒸發(fā)薄膜的樣品夾具，其特征在于，所述擋片(2)由不銹鋼材料制作而成。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于電子束蒸發(fā)薄膜的樣品夾具，其特征在于，所述凹槽(3)的寬度大于樣品的厚度。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于電子束蒸發(fā)薄膜的樣品夾具，其特征在于，所述凹槽(3)的寬度為1mm，深度為1mm。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于電子束蒸發(fā)薄膜的樣品夾具，其特征在于，所述樣品托(4)為圓形。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于電子束蒸發(fā)薄膜的樣品夾具，其特征在于，所述兩個(gè)矩形通孔(5)的間距與擋片(2)兩螺紋孔(1)的間距相同。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于電子束蒸發(fā)薄膜的樣品夾具，其特征在于，該樣品夾具在凹槽(8)的內(nèi)側(cè)進(jìn)一步包含有一臺(tái)階(6)，該臺(tái)階(6)的高度與凹槽(3)的下沿高度相同，用以保證樣品被水平夾在擋片凹槽(3)和樣品托(4)之間。
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及固定夾具技術(shù)領(lǐng)域，特別是一種用于電子束蒸發(fā)薄膜的樣品夾具。
背景技術(shù)
現(xiàn)在較為常見(jiàn)的用于固定樣品的方法是：樣品平放在一圓形樣品托上，然后用三個(gè)不銹鋼片按住樣品邊緣，不銹鋼片的另一端用螺絲固定在樣品托上。這種方式的特點(diǎn)是：樣品裝卸比較方便，適合大面積的樣品。但他的缺點(diǎn)在于：首先，固定不銹鋼片的螺絲不能隨便移動(dòng)，而不銹鋼片的長(zhǎng)度也是固定的，它只能繞螺絲旋轉(zhuǎn)，這就極大的限制了樣品的尺寸；其次，樣品被鋼片壓住的部分必然浪費(fèi)；再次，如果樣品太薄，用鋼片壓往往由于受力不均勻而碎裂；最后，在實(shí)際電子束蒸發(fā)時(shí)，有時(shí)鍍膜面的背面有特殊的器件結(jié)構(gòu)，不希望它直接接觸到樣片托。綜合以上考慮，本發(fā)明設(shè)計(jì)了這種可適應(yīng)于各種大小樣品的多功能夾具。
發(fā)明內(nèi)容
有鑒于此，本發(fā)明的主要目的在于提供一種大小可調(diào)的用于電子束蒸發(fā)薄膜的樣品夾具，以固定不同大小的樣品，只要樣品有一邊整齊就可以固定牢靠，可以適用于尺寸變化大，邊緣不規(guī)則的薄樣品，而且裝卸方便。
(二)技術(shù)方案
為達(dá)到上述目的，本發(fā)明提供了一種用于電子束蒸發(fā)薄膜的樣品夾具，包括：
一擋片2，該擋片主體為長(zhǎng)方體，在該擋片的一側(cè)面開(kāi)有一凹槽3，用以固定樣品一邊；該長(zhǎng)方體擋片的正面兩端各一螺紋孔1，用以將擋片2固定在樣品托4上；
一樣品托4，該樣品托4具有一供擋片2滑動(dòng)的凹槽8，且該樣品托4中間有一方形通孔7，該方形通孔7兩側(cè)各有一個(gè)可穿過(guò)螺絲的矩形通孔5，以便于用螺絲將擋片2和樣品托4固定在一起，樣品被夾在擋片的凹槽3和樣品托4之間。
上述方案中，所述擋片2由不銹鋼材料制作而成。
上述方案中，所述凹槽3的寬度大于樣品的厚度。
上述方案中，所述凹槽3的寬度為1mm，深度為1mm。
上述方案中，所述樣品托4為圓形。
上述方案中，所述兩個(gè)矩形通孔5的間距與擋片2兩螺紋孔1的間距相同。
上述方案中，該樣品夾具在凹槽8的內(nèi)側(cè)進(jìn)一步包含有一臺(tái)階6，該臺(tái)階6的高度與凹槽3的下沿高度相同，用以保證樣品被水平夾在擋片凹槽3和樣品托4之間。
(三)有益效果
本發(fā)明提供的這種大小可調(diào)的用于電子束蒸發(fā)薄膜的樣品夾具，與現(xiàn)有的技術(shù)相比具有如下優(yōu)點(diǎn)：
1、可以固定面積較小的樣品，且裝卸方便；
2、可以有效減小鍍膜過(guò)程中因夾具遮擋而浪費(fèi)的樣品面積；
3、可適用于不同尺寸的樣品；
4、可適用于樣品邊緣不規(guī)則的樣品；
5、在蒸鍍過(guò)程中樣品的非鍍膜面不接觸到樣品托，避免了對(duì)樣品的污染。
附圖說(shuō)明
圖1是本發(fā)明提供的樣品夾具中擋片的示意圖；
圖2是本發(fā)明提供的樣品夾具中樣品托的示意圖；
圖3是本發(fā)明提供的樣品夾具的立體分解圖；
圖4是不規(guī)則樣品的示意圖；
圖5是裝樣品后夾的示意圖。
具體實(shí)施方式
請(qǐng)參閱圖1至圖5所示，一種用于電子束蒸發(fā)薄膜的樣品夾具，包括一擋片2，該擋片主體為長(zhǎng)方體，材料為不銹鋼，在該長(zhǎng)方體擋片的一側(cè)面開(kāi)有一方形凹槽3，凹槽3的寬度大于樣品的厚度，用以固定樣品一邊；該長(zhǎng)方體擋片的正面兩端各一螺紋孔1，用以將擋片2固定在樣品托4上；一樣品托4，該樣品托4為圓形，具有一供擋片滑動(dòng)的凹槽8，該樣品托4中間有一方形通孔7，該方形通孔7兩側(cè)各有一個(gè)可穿過(guò)螺絲的矩形通孔5，以便于用螺絲把擋片和樣品托固定。該兩個(gè)矩形通孔5的間距與擋片2兩螺紋孔1的間距相同，樣品被夾在擋片的凹槽3和樣品托之間；在凹槽8的內(nèi)側(cè)有一臺(tái)階6，臺(tái)階6的高度與凹槽3的下沿高度相同，用以保證樣品被水平夾在擋片凹槽3和樣品托之間。
本固定夾具的工作過(guò)程為：
1、擰松螺絲9，使擋片2與樣品托臺(tái)階6的距離略小于樣品(10)高度(圖1所示)；
2、將樣品(10)鍍膜面朝下(鍍膜材料由下向上蒸發(fā))，樣品(10)底邊放入擋片凹槽3內(nèi)；
3、緩緩向外移動(dòng)擋片2，使樣品(10)的另一端(尖端)落到樣品托4的臺(tái)階6上；
4、旋緊兩邊的螺絲9，樣品固定完成。
5、鍍膜結(jié)束后，松開(kāi)螺絲9，取出樣品(10)。
以上所述的具體實(shí)施例，對(duì)本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和有益效果進(jìn)行了進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明，所應(yīng)理解的是，以上所述僅為本發(fā)明的具體實(shí)施例而已，并不用于限制本發(fā)明，凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所做的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
| 標(biāo)題 | 發(fā)布/更新時(shí)間 | 閱讀量 |
|---|---|---|
| 電子束蒸發(fā)源及真空蒸鍍裝置 | 2020-05-12 | 767 |
| 一種半導(dǎo)體芯片電子束蒸發(fā)裝置及其安裝方法 | 2020-05-14 | 191 |
| 用于電子束蒸發(fā)薄膜的樣品夾具 | 2020-05-12 | 663 |
| MgO薄膜電子束蒸發(fā)制備方法及裝置 | 2020-05-12 | 863 |
| 材料表面改性用電子束蒸發(fā)金屬離子源 | 2020-05-15 | 476 |
| 一種蒸發(fā)速率可控的電子束蒸發(fā)源 | 2020-05-11 | 363 |
| MgO薄膜電子束蒸發(fā)制備方法及裝置 | 2020-05-12 | 842 |
| 電子束蒸發(fā)速率自動(dòng)控制設(shè)備及其控制方法 | 2020-05-14 | 532 |
| 一種自動(dòng)換靶的反應(yīng)電子束蒸發(fā)儀的應(yīng)用方法 | 2020-05-13 | 231 |
| 一種自動(dòng)換靶的反應(yīng)電子束蒸發(fā)設(shè)備 | 2020-05-12 | 88 |
高效檢索全球?qū)＠?/div>專利匯是專利免費(fèi)檢索,專利查詢,專利分析-國(guó)家發(fā)明專利查詢檢索分析平臺(tái)，是提供專利分析，專利查詢，專利檢索等數(shù)據(jù)服務(wù)功能的知識(shí)產(chǎn)權(quán)數(shù)據(jù)服務(wù)商。
我們的產(chǎn)品包含105個(gè)國(guó)家的1.26億組數(shù)據(jù)，免費(fèi)查、免費(fèi)專利分析。
分析報(bào)告專利匯分析報(bào)告產(chǎn)品可以對(duì)行業(yè)情報(bào)數(shù)據(jù)進(jìn)行梳理分析，涉及維度包括行業(yè)專利基本狀況分析、地域分析、技術(shù)分析、發(fā)明人分析、申請(qǐng)人分析、專利權(quán)人分析、失效分析、核心專利分析、法律分析、研發(fā)重點(diǎn)分析、企業(yè)專利處境分析、技術(shù)處境分析、專利壽命分析、企業(yè)定位分析、引證分析等超過(guò)60個(gè)分析角度，系統(tǒng)通過(guò)AI智能系統(tǒng)對(duì)圖表進(jìn)行解讀，只需1分鐘，一鍵生成行業(yè)專利分析報(bào)告。
電子束蒸發(fā)熱門(mén)專利
